Sonda de vácuo de alta temperatura manual doméstica Detecção de wafer Teste de sensibilidade ao ar

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Visão geral

Teste de sensibilidade ao ar, pode reservar a interface para instalar válvulas eletrônicas e medidores de fluxo, para carregar outros gases, gama de temperatura de 77,15 K a 673,15 K (-196 graus Celsius a 400 graus Celsius)

Detalhes do produto

Sonda de vácuo de alta temperatura manual doméstica Detecção de wafer Teste de sensibilidade ao ar

O sistema de sonda de alta temperatura pode ser testado a baixa temperatura até ≤10Pa sem condensação ou congelamento. Para os usuários que escolheram uma configuração de nível inicial, a bomba mecânica bipolar rotativa é opcional para alcançar o vácuo objetivo, reduzindo assim o orçamento de configuração do equipamento. Para usuários com níveis de vácuo mais elevados, o sistema pode ser bombeado com um conjunto de bombas moleculares. Sistema de sonda de baixa temperatura até 10^-3Pa. Os conjuntos de bombas com vácuo mais elevado também estão disponíveis para atender aos requisitos de teste.

Para reduzir a vibração do conjunto de bombas, também projetamos isoladores especificamente para o usuário,A vibração gerada durante o trabalho do conjunto de bombas de atenuação do solo para garantir a estabilidade do sistema e reduzir a deriva da sonda- É.

国产手动高温真空探针台晶圆检测气敏测试

Sonda de vácuo de alta temperatura manual doméstica Detecção de wafer Teste de sensibilidade ao ar‍

Câmara de vácuo
Tipo	Temperatura ambiente de alta temperatura400℃	Temperatura alta e baixa Temperatura ambiente400℃ Temperatura ambiente-196℃
Material da cavidade	304aço inoxidável 6061liga de alumínio Opcional
Dimensões dentro da cavidade	127 milímetros x 57 milímetros x 20 milímetros
Dimensões externas da cavidade	150 milímetros x 80 milímetros x 32 milímetros
Peso da Câmara	Aço inoxidável Aproximadamente1,5 kg Liga de alumínio Aproximadamente0,5 kg
Tamanho da janela da câmara	Φ42 milímetros(janela concava opcional para reduzir a distância entre a janela e a amostra)
Bomba de ar da cavidade	O KF16Flange (restantes especificações de interface transferíveis)
Porta de medição de vácuo da cavidade	O KF16Flange (restantes especificações de interface transferíveis)
Entrada de ar da câmara	6 milímetrosTorca-o! ou 6 milímetrosLigue-o!
Método de resfriamento da câmara	Água fria da câmara+Frio a gás da tampa superior
Interface de refrigeração a água da câmara
Pressão positiva da cavidade	≤0,05 MPa
Vácuo da Câmara	Bomba mecânica ≤5Pa（5minutos) Bomba molecular ≤5E-3Pa（30minutos)
Banco de amostras
Material da amostra	aço inoxidável Liga de prata e cobre Prata pura	Liga de prata e cobre Prata pura
Tamanho da amostra	26x26 milímetros
Método de aquecimento da amostra	Aquecimento de resistência	Aquecimento de resistência Refrigeração de nitrogênio líquido
Banco de amostras-janela distância	11 milímetros(janela concava opcional para reduzir a distância entre a janela e a amostra)6 milímetros）
Sensor de temperatura do banco de amostras	PT100Tipo de resistência térmica
Temperatura da amostra	Temperatura ambiente400℃	Temperatura ambiente até 400℃ Temperatura ambiente-196℃
Erro de temperatura da amostra	±0.5℃
Taxa de aquecimento da amostra	Alta temperatura100℃por min baixa temperatura7℃por min
Termômetro
Mostrador de temperatura	7Interface pessoa-máquina de polegadas
Tipo de controle de temperatura	padrãoPIDControle de temperatura+Autoajustar
Resolução de temperatura	0.1℃
Precisão de controle de temperatura	±0.5℃
Tipo de entrada de sinal de temperatura	PT100(Opcional)K S O BTipo de termopar)
Saída de controle de temperatura	Aquecimento linear de corrente contínua	Aquecimento linear de corrente contínua+Controlador de fluxo de nitrogênio líquido
Funções auxiliares	Recolha e exportação de dados de temperatura Curva de temperatura em tempo real+Curva de temperatura histórica Interface de leitura de vácuo escalável
Tamanho do termocontrolador	32cmX170cmX380cm
Peso do termocontrolador	Aproximadamente5,6 kg
Sonda
Conectores de sinal elétrico	Transferência de cablagemBNCConexões BNCConexão coaxial de três eixos SMAConexões Plug de banana Comprimento da linha1.2arroz
Propriedades Elétricas	Resistência de isolamento ≥4000MΩ Pressão média ≤200 volts Ruído de corrente ≤10pA
Número de sondas	4Sonda (expandível)5sonda)
Material da sonda	Agulhas de tungstênio douradas (outros materiais opcionais)
Ponta da sonda	10μm
Plataforma móvel de sonda manual
XMovimento do eixo	20 milímetros±10 milímetros(É necessário empurrar manualmente)
XPrecisão do controle do eixo	≥500μm
O RMovimento do eixo	120°±60°(É necessário girar a sonda manualmente)
O RPrecisão do controle do eixo	≥500μm
ZMovimento do eixo	2 milímetros±1 milímetro
ZPrecisão do controle do eixo	≤50 μm(É necessário ajustar a sonda manualmente)

Sonda de vácuo de alta temperatura manual doméstica Detecção de wafer

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