Dispositivo de destilação de grau EP

NegociávelAtualização em12/18

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Visão geral

O dispositivo de destilação de grau EP é o principal equipamento para a produção de gás eletrônico especial, através da purificação de destilação de precisão, para que a pureza do gás seja superior a 99,999%, satisfazendo as necessidades de semicondutores

Detalhes do produto

Definições básicas e cenários de aplicação

As unidades de destilação de classe EP, ou Electronic Pure, são equipamentos de purificação de gás de alta precisão projetados para a indústria eletrônica. Através de vários processos de destilação de precisão, ele elimina os traços de impurezas no gás (como umidade, íons metálicos, hidrocarbonetos, etc.), o que finalmente leva a uma pureza do gás acima de 99,999% (5N), em alguns cenários, 99,9999% (6N).

Aplicado principalmente na fabricação de chips de semicondutores, produção de células fotovoltaicas, processamento de componentes eletrônicos e outras áreas, fornecendo gás eletrônico especial de alta pureza (como hidrogênio, oxigênio, amônia, etc.) para processos-chave como gravura e sedimentação, afetando diretamente a eficiência e o desempenho do produto.

II. Princípios básicos de funcionamento

Com base no princípio de distilação "diferença de ponto de ebulição de diferentes substâncias", combinado com os requisitos rigorosos da produção eletrônica, o processo é dividido em três etapas:

Fase de pré-tratamento: o gás bruto é filtrado, secado e pré-tratado para remover a maioria das partículas sólidas e a umidade, evitando o bloqueio ou a poluição do equipamento subsequente.
Fase de destilação de precisão: o gás pré-tratado entra na torre de destilação especialmente feita, aumentando a área de contato com o gás e o líquido através da placa da torre ou do preenchimento. Utilizando o aquecimento do fundo da torre e o ciclo de condensação do topo da torre, o componente volátil do gás (gás alvo) é separado repetidamente dos componentes volátiis difíceis (impurezas), melhorando gradualmente a pureza.
Fase pós-purificação: o gás emitido do topo da torre de destilação é purificado secundáriamente por adsorção, separação de membrana, etc., para reduzir ainda mais o conteúdo de impurezas em traços e finalmente atingir os padrões de grau EP.

Características técnicas principais

Material especial: para atender às necessidades de purificação, os componentes em contato com o gás (por exemplo, torres de destilação, tubos, válvulas) do dispositivo de destilação de grau EP são usados principalmente em aço inoxidável 316L ou liga Hasselt, e a parede interna é polida por eletrólise (polimento EP) para reduzir a adsorção e dissolução de impurezas.
Precisão de controle: Equipado com sensores de alta precisão de temperatura, pressão, fluxo e sistema de controle automático, os parâmetros de destilação podem ser ajustados em tempo real (por exemplo, a diferença de temperatura dentro da torre é controlada dentro de ± 0,1 ° C) para garantir a pureza estável.
Projeto de vazamento ultra-baixo: a estrutura de vedação e a tecnologia de espectroscopia de massa de hélio são usados para controlar a taxa de vazamento abaixo de 1 x 10-9 Pa·m³/s para evitar a infiltração de impurezas externas.

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