FS-3000 divisor de gás térmico

Os algoritmos de controle permitem um controle de desvio estável através do controle da relação de fluxo, ao mesmo tempo que controlam a pressão ascendente do FS-3000 usando a tecnologia de otimização de controle HORIBA STEC. Além disso, mesmo que a relação de desvio mude, os algoritmos de controle permitem uma resposta rápida à desvio.

• Melhore escalabilidade e desempenho de manutenção. O FS-3000 pode separar até 15 canais através do processamento de sinais de alta velocidade. Caso o MFC falhe, basta substituir a máquina.

• Especificações necessárias para uma resposta flexível O FS-3000 suporta vários gases, incluindo misturas de gases. Além disso, o FS-3000 também suporta interfaces de usuário como RS-485 e DeviceNet.