Medidor de espessura de membrana

NegociávelAtualização em02/09

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Visão geral

O equipamento de medição de espessura da membrana usa o princípio da interferência de reflexão para medir sem danos, medir a espessura e a taxa de refração da película fina no substrato absorvente ou transparente, ao mesmo tempo que fornece a taxa de reflexão da amostra, a precisão da medição atinge a resolução do nível de E, medição rápida, operação simples, interface amigável, tempo de medição inferior a 1 segundo. Pode ser aplicado à medição da espessura de camadas finas como resistência à luz, materiais semicondutores, materiais poliméricos e outros, e tem sido amplamente aplicado e muito apreciado nas indústrias de semicondutores, energia solar, painéis de cristal líquido e óptica, bem como em institutos e universidades.

Detalhes do produto

Medidor de espessura de membranaEspecificações do sistema de medição:

Funções básicas: obtenção de valores de espessura da película e espectros R, N / K, etc.

Alcance de análise espectral: 380nm-1000nm

Medição do tamanho da mancha: padrão 1,5 mm, mínimo 0,5 mm

Precisão de medição repetitiva da espessura da membrana: 0,02 nm (amostra de SiO2 a base de silício de 100 nm, 100 medições repetidas)

Precisão da espessura da membrana: 0,2% ou maior entre 2nm

Medição da espessura da membrana: 15nm-70μm

Espessura necessária para medir valores n e k: acima de 100nm

Tempo de medição: ≤ 1s

Fonte de luz: fonte de luz halogenada padrão (vida útil de 2000 horas)

Software de análise: até centenas de bancos de dados de constantes de materiais ópticos e suporte para bancos de materiais ópticos personalizados pelo usuário; Simulação e análise de modelagem óptica homogênica multicamada

Medidor de espessura de membranaEspecificações da amostra:

Tamanho do substrato: suporte tamanho da amostra até 150 * 150mm (pode ser atualizado para personalizar a mesa de amostra de tamanho diferente)

Software de medição e análise

Capacidade de medição espectral: medição espectral de refletidão

Capacidade de análise de dados: capacidade de análise de espessura da membrana, constantes ópticas (refração e fatores de atenuação)

Suporte para modelos de constantes ópticas comuns e modelos de vibradores comuns (modelos Cauchy, Lorentz, Gauss, etc.)

Suporta personalização do usuário, software de análise offline para simular medições reais, suporte ao sistema operacional Windows 10

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