Espectrómetro de massa iônico secundário de tempo de voo

Espectrómetro de massa iônico secundário de tempo de vooPHI nanoTOF3+

Características

O TOF-SIMS multifuncional avançado oferece uma capacidade de análise de microárea mais poderosa e uma precisão analítica superior

Espectrómetro de massa iônico secundário de tempo de voo

Analisador de qualidade TRIFT de nova geração para melhor resolução de qualidade

Análise de amostras múltiplas automatizada sem vigilância para materiais de isolamento

Tecnologia de feixe de íons

Função de imagem paralela MS/MS para auxiliar a análise da estrutura macromolecular orgânica

Acessórios opcionais multifuncionais

Analisador TRIFT para amostras de todas as formas Energia de transmissão de banda larga + ângulo de recepção estéreo amplo

Energia de transmissão de banda larga, ângulo de recepção estéreo amplo - para análise de amostras de todas as formas

Os íons secundários excitados pelo feixe principal voam da superfície da amostra em ângulos e energias diferentes, especialmente para amostras com diferenças de altura e formação irregular, mesmo que os mesmos íons secundários tenham diferenças no tempo de voo no analisador, resultando em resoluções de massa ruins e afetando a forma e o fundo do pico espectral. O analisador de massa TRIFT pode corrigir simultaneamente o ângulo e a energia da emissão de íons secundários para garantir que o tempo de voo dos mesmos íons secundários seja consistente, de modo que o TRIFT combina as vantagens de alta resolução de qualidade e alta sensibilidade de detecção e reduz o efeito de sombra para imagens de amostras irregulares.

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Dispositivo iônico único para análises de alta precisão

Tecnologia avançada de feixe de íons para maior qualidade de resolução

O PHI nanoTOF3+ é capaz de fornecer análises TOF-SIMS de alta qualidade e alta resolução espacial: no modo de resolução de alta qualidade, sua resolução espacial é superior a 500nm; No modo de alta resolução espacial, seu modo de resolução espacial é superior a 50 nm. Medidas de baixo ruído, alta sensibilidade e alta resolução podem ser realizadas combinando fontes de íons de alta intensidade, componentes de pulso de alta precisão e analisadores de qualidade de alta resolução; Em ambos os modos, a análise espectral pode ser concluída em apenas alguns minutos.

Análise automática de amostras múltiplas sem vigilância TOF-SIMS - para materiais de isolamento

O PHI nanoTOF3+ é equipado com a recém-desenvolvida função de análise automática de múltiplas amostras, que ajusta automaticamente a altura necessária para a análise e a pressão de desvio da mesa de amostras de acordo com a condutividade da amostra, permitindo a análise TOF-SIMS automática sem vigilância de vários tipos de amostras, incluindo materiais de isolamento. Todo o processo de análise é muito simples, com apenas três passos para realizar uma análise de superfície ou profundidade de várias amostras: ① tirar fotos do banco de amostras na sala de entrada; ② Analisar os pontos das fotos tiradas na sala de amostragem; Pressione a tecla de análise e o dispositivo iniciará automaticamente a análise. No passado, um operador especializado era necessário para operar o instrumento para realizar a análise TOF-SIMS; Agora, dados analíticos de alta qualidade podem ser obtidos por operadores qualificados ou não.

Sistema de amostragem automatizado padrão

O PHI nanoTOF3+ é equipado com um sistema totalmente automático de transferência de amostras com excelente desempenho no XPS: tamanhos de amostras de até 100 mm x 100 mm, e a sala de análise é equipada com um dispositivo de estacionamento de amostras incorporado como padrão; Em combinação com o editor de fila de análise, é possível realizar testes contínuos totalmente automáticos de grandes quantidades de amostras.

Tecnologia de neutralização automática de feixe duplo de carga com equipamentos de iões pulsados recentemente desenvolvidos

A maioria das amostras testadas pelo TOF-SIMS são isoladas, e a superfície da amostra isolada geralmente tem efeitos de carga elétrica. O PHI nanoTOF3+ usa a tecnologia de neutralização automática de feixe duplo de carga, emitindo simultaneamente feixes de elétrons de baixa energia e feixes de diônios de baixa energia, para alcançar a neutralização verdadeiramente automática de qualquer tipo e forma de material de isolamento, sem necessidade de operação humana adicional.

* Requer equipamento de íons AR opcional

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Acesso remoto para instrumentos de controle remoto

O PHI nanoTOF3+ permite o acesso ao instrumento através da rede local ou da Internet. Basta colocar o banco de amostras na sala de amostragem para controlar remotamente todas as operações de amostragem, troca de amostragem, teste e análise. Nossos profissionais podem realizar diagnósticos remotos do instrumento.

* Para um diagnóstico remoto, entre em contato com nosso serviço ao cliente.‍

Do processamento em seção à análise em seção: com apenas uma fonte de íons

Funcionalidade FIB (Focused lon Beam)

No PHI nanoTOF3 +, o equipamento iônico metálico líquido com função FIB permite processamento transversal e análise transversal TOF-SIMS de amostras usando um único dispositivo iônico. Ao operar um computador, todo o processo, desde o processamento FIB até a análise TOF-SIMS, pode ser concluído de forma rápida e fácil. Além disso, o processamento FIB pode ser realizado em condições de refrigeração.

Quando a fonte Ga é selecionada para o processamento FIB, uma imagem 3D da área de processamento FIB pode ser obtida; A fonte Ga também pode ser usada como segunda fonte de análise para a análise TOF-SIMS.

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Análise da estrutura molecular por imagem paralela MS/MS [opcional]

Imagem paralela MS/MS Captura simultânea de dados MS1/MS2

No teste TOF-SIMS, o analisador de massa MS1 recebe todos os fragmentos de íons secundários gerados da superfície da amostra e é difícil distinguir para íons macromoleculares com números de massa próximos ao espectro MS1. Através da instalação de espectroscopia de massa em série MS2, a separação induzida por colisão de íons específicos produz fragmentos de íons característicos, a espectroscopia MS2 permite uma identificação adicional da estrutura molecular.

O PHI nanoTOF3 + possui imagem paralela MS/MS em espectro de massa em série, que permite obter dados MS1 e MS2 simultaneamente na área de análise, fornecendo ferramentas poderosas para a análise da estrutura macromolecular orgânica.

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Configurações diversificadas para aproveitar ao máximo o potencial do TOF-SIMS

Caixa de luvas removível: pode ser instalado na sala de importação de amostras

Disponível como opção com uma caixa de luvas removível ligada diretamente à sala de amostragem. As amostras que reagem facilmente com a atmosfera, como baterias de íons de lítio e OLEDs orgânicos, podem ser instaladas diretamente no banco de amostras. Além disso, a substituição da amostra após a análise de resfriamento evita o congelamento da superfície da amostra.

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Fonte de íons de agrupamento de argônio (Ar-GCIB): análise em profundidade de materiais orgânicos

O uso de fontes de íons de agrupamento de argônio (Ar-GCIB) pode reduzir eficazmente a destruição de materiais orgânicos durante o processo de pulverização, mantendo assim informações estruturais de macromoléculas orgânicas durante a gravura.

Fontes Cs e Ar/O2: Análise Profunda de Materiais Inorgânicos

Pode escolher diferentes fontes de íons de acordo com as necessidades de teste para melhorar a produção de íons secundários, o uso de fontes Cs pode aumentar a produção de íons negativos; Fontes de O2 aumentam a produção de íons positivos