Máquina de revestimento homogênico ultrasônico de quatro cabeças é um dispositivo de processamento de alta precisão de semicondutores e micronano para revestimento de cola fotográfica ou outros líquidos funcionais em substratos
Máquina de revestimento rotativo de homogênio de ultra-som de quatro cabeçasÉ um gaoduan, equipamento de processamento de semicondutores de alta precisão e micronano para revestir fotogravura ou outros líquidos funcionais em substratos. Representa a mais recente direção de desenvolvimento da tecnologia homogênica, especialmente para revestimentos de estruturas complexas e substratos não planos.
As máquinas de homogeneização tradicionais geralmente têm apenas uma cabeça de gota fixa ou uma cabeça de pulverização estática, cobrindo a cola fotográfica sobre o substrato por meio de gota central ou pulverização estática e, em seguida, a força centrífuga gerada por rotação de alta velocidade faz com que o colóide se espalhe uniformemente.
A máquina de homogeneização ultrasônica de quatro cabeças é um design revolucionário. Integra os seguintes componentes principais:
Quatro cabeças piezoelétricas de ultra-som independentes: é a origem do seu nome. Cada cabeça de pulverização é uma unidade de distribuição de líquidos independente e precisa.
Braço robótico de alta precisão: Estas quatro cabeças são montadas em um braço robótico com vários graus de liberdade para controlar com precisão a cabeça para movimentos tridimensionais complexos acima da placa de base.
Tecnologia de nebulização por ultra-som: Usando vibrações ultra-sónicas de alta frequência, o líquido é "rasgado" em gotas nebulosas extremamente pequenas e uniformes (geralmente com diâmetro em níveis de mícrons) e, em seguida, injetado através do gás transportador.
Sistema de controle colaborativo: um sistema sofisticado de software que controla sincronicamente os interruptores, o fluxo e a trajetória do braço robótico de cada cabeça de injeção.
Resumo dos princípios de funcionamento:
Não é simplesmente colocar cola no centro, mas é como uma máquina."3DAssim como uma "impressora" ou uma "impressora a jato de tinta", quatro cabeças de pulverização são controladas por um programa para uma pulverização por digitalização na superfície do substrato, seguindo o caminho predefinido. Cada cabeça de pulverização pode trabalhar independentemente ou em conjunto, permitindo uma uniformidade e flexibilidade de revestimento sem precedentes na Qian.
II. Vantagens principais:
Em comparação com a homogenizadora tradicional, a homogenizadora de ultra-som de quatro cabeças tem vantagens esmagadoras:
1.Uniformidade do jigao:
2.Zuo mais cobertura de degraus e formabilidade:
3.Alta utilização de materiais:
4.Excelente compatibilidade e flexibilidade:
5.Redução de defeitos:
Área de aplicação da máquina:
Devido às suas vantagens técnicas únicas, a máquina de homogeneização de ultra-som de quatro cabeças é aplicada principalmente em áreas tecnológicas de ponta que exigem altos requisitos para o processo de colagem:
1.* Fabricação de semicondutores:
2.MEMS(Sistema Micromecânico)
3.Semicondutores compostos e dispositivos de potência:
4.Dispositivos Fotônicos e Componentes Ópticos:
5.Tecnologia de exibição:
6.Pesquisa e exploração de ponta:
Quarto.Máquina de revestimento rotativo de homogênio de ultra-som de quatro cabeçasParâmetros técnicos:
nome do produto |
Máquina de homogeneização ultrasônica de quatro cabeças |
Modelo do produto |
CY-300SS-4 |
Máquina homogênica |
Tamanho do cristal círculo |
12Polgadas |
Material da cavidade |
Tetrafluoro |
Temperatura de aquecimento |
≤200℃ (pode durar uma hora) |
Precisão de controle de temperatura |
+/- 0,1ºC |
Método de aquecimento |
Elementos de aquecimento infravermelho |
Duração do revestimento |
0-60Segundos (ajustável) |
Espessura do revestimento |
≤100 nm(Depende do processo de processamento) |
Velocidade de rotação |
30 ~ 6000rpmAjustável |
Aceleração de rotação |
30 ~ 2000rpm / sAjustável |
Resolução de velocidade |
1rpm |
Tempo máximo de colagem única |
anos 3000 |
Aspirador de vácuo |
Um pedaço.2,5x2,5cmUm pedaço.10x10cm |
Modo de controle de temperatura |
AIPControle de temperatura inteligente |
Modo de operação |
7 Polgadas HDLCDTela de toque |
Painel de controle |
Tela táctil HDdo PLCPainel de controle para configuração de spray, desidratação e temperatura |
Sucção puramente mecânica para máquina de colagem |
12 Um pedaço de polegada (requer personalização adicional);6 Um pedaço de polegada (requer personalização adicional) |
Bomba de vácuo sem óleo |
Modelo:AP-2000V
Potência:0,55 kw
Baixo vácuo:- 700 mmHg;- 92Kpa
Máximo fluxo de gás:200L / min;12m3 / h
Peso:10kg
|
Dimensões |
1200x1000x1050mm |
Sistema de ultra-som |
quantidade |
4um |
Material da cabeça de pulverização |
Liga de titânio |
frequência |
120 kHz |
Potência |
130W |
fluxo |
0,01-20ml/min |
Diâmetro das partículas |
20-25um |
Largura da pulverização |
2-20 milímetros |
Tipo de cabeça de pulverização |
Tipo de Cono |
Bomba de injeção |
Escala de fluxo |
50 ml / min |
Especificações da bomba de injeção |
10ml precisão+/- 0,01 ml |
Especificações da bomba de injeção |
100 mlprecisão+/- 0,01 ml |
Gama de velocidade da linha |
5um / min-65um / min |
Resolução de ajuste da velocidade da linha |
5 um / min |
Viagem máxima |
140 milímetros |
Resolução do processo |
0,156um |
Empurrão linear nominal |
>90N |
medidor de fluxo |
Tipos de gás de controle |
2espécie |
Velocidade do gás |
16-160mL/min |