-
E-mail
317399383@qq.com
-
Telefone
15955179814
-
Endereço
No. 9996, Rua Jeusong, Distrito de Jiekai, Hefei, província de Anhui
Categorias do produto
Hefei Lightweight Electronics Technology Co., Ltd.
Máquina totalmente automática
NegociávelAtualização em02/09
- Modelo
- Natureza do fabricante
- Produtores
- Categoria do produto
- Local de origem
Visão geral
Descrição do produto da máquina de desglaçamento totalmente automática: $ n1 Nome do equipamento: máquina de desglaçamento totalmente automática seca $ n2 Modelo do equipamento: CGST3100 $ n3 Princípio do equipamento: ICP $ n4 Tamanho do wafer Tamanho do wafer: 8 polegadas (compatível com 4 ou 6 polegadas) $ n5 Material do wafer: Base de Si (se for necessário especificar outros materiais)
Detalhes do produto
Máquina totalmente automáticaIntrodução do produto:
1 Nome do equipamento: Máquina secadora totalmente automática
Modelo do equipamento: CGST3100
Princípio do equipamento: ICP
Tamanho do wafer: 8 polegadas (compatível com 4 ou 6 polegadas)
Material de Wafer: Base Si (se necessário para outros materiais)
Máquina totalmente automáticaParâmetros:
| Corpo principal do dispositivo | |
| Tamanho do equipamento | L1300 × W1190 × H1847mm |
| Peso do equipamento | 800 quilos |
| Alimentação do equipamento | AC220V，3P,50/60Hz， Linha 5, 16A |
| Software de hospedagem | do Windows 10 |
| Comunicação Host | SECS/GEM |
| Disco rígido do anfitrião | Único/Duplo |
| Câmara de processo | ICP， Câmara única |
| Tipo de caixa | Cassete aberta (Open cassette) |
| Capacidade de processamento único do wafer | Um pedaço. |
| Mão mecânica | 3 eixos (opcional com um ou dois braços) |
| Mão mecânica | Mapeamento (opcional) |
| Produção por hora (WPH) | 35 comprimidos / hora (receita padrão de 1 minuto) |
| Disco de aquecimento | Liga de alumínio, temperatura de controle: 50-250 ℃ |
| Sistema de plasma | |
| Tipo de alimentação | Radiofrequência |
| Potência | 0 ~ 1000W |
| Frequência de alimentação | 13,56 MHz |
| Correspondentes | Correspondência automática |
| Sistema de vácuo | |
| Câmara de processo | liga de alumínio |
| Porta da Câmara | Válvulas de porta, pneumáticas |
| 真空管路 | Tubos totalmente de aço inoxidável e tubos ondulados de vácuo de alta resistência |
| Válvula de borboleta | Precisão de pressão: ± 50 mtorr |
| Interruptor de tubo de vácuo | Válvula angular, pneumática |
| bomba de vácuo | Bomba seca: 600m3/h |
| Medidor de vácuo | 0,001-10 Torr |
| Interruptor de vácuo da câmara | 750 Torr |
| Interruptor de vácuo de tubo frontal | 100 Torres |
| Sistema de gás | |
| Sistema de gás de processo | Gabinete de gás modular (GAS BOX) |
| Material da caixa de gás | aço inoxidável |
| Escape do gabinete | Pressão negativa, ácido |
| Configuração do gabinete de gás | Filtros, válvulas manuais, medidores de fluxo, válvulas pneumáticas, medidores de pressão diferencial, válvulas reguladoras de velocidade, interruptores de cadeia |
| Número de vias de gás | |
| Estrada do gás 1 | O2 5SLM |
| Estrada do gás 2 | N2 1SLM |
| Estrada do gás 3 | CF4 100SCCM |
| Estrada do gás 4 | 4% H2 / N2 1SLM |
| Estrada Aérea 5 | N2 Vacuum lento/rápido |
Mais necessidades podem chamar a comunicação.
