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5º andar, Lane 11, 4855, Guangfulin Road, Songjiang, Xangai
Bannai Automation Instruments (Shanghai) Co., Ltd.
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5º andar, Lane 11, 4855, Guangfulin Road, Songjiang, Xangai
Características:
Realizar o controle do pequeno fluxo ao grande fluxo com charme e preço;
Resposta de alta velocidade, alcançando os valores de tráfego definidos em 1 segundo. Equipado com circuito de controle de design mais recente e sensores de fluxo de alta velocidade, de acordo com o sinal de potência recebido, a estabilidade inicial do fluxo é melhor, através de procedimentos de implementação de mudanças de fluxo que permitem manter o fluxo estável para o controle. (Modelo de correspondência de fluxo grande: SEC-E80 responde em 2 segundos)
Alta precisão, ± 1,0% F.S.
Alta confiabilidade com zero automático
Controle preciso do fluxo de qualidade; O chamado controlador de fluxo de massa é um tipo de controlador que mede o fluxo de massa e pode realizar automaticamente qualquer fluxo de acordo com o sinal de energia recebido. Portanto, mesmo que o ambiente de uso (por exemplo, temperatura, pressão) mude, o controle de fluxo de massa pode ser realizado com precisão sem correção.
Adota válvula de função de fluxo automático; Como a válvula de controle de fluxo é um tipo de controle de função de fluxo automático, quando a fonte de energia do corpo não é fornecida, a válvula será ajustada automaticamente para o estado de fechamento. O fluxo também pode ser reduzido ao mínimo em caso de corte de energia.
Princípio de funcionamento:
O gás que entra na entrada é desviado para o sensor de fluxo e o local de desvio.
As informações de mudança de temperatura formadas em proporção ao fluxo de massa são obtidas pelo sensor e trocadas em sinais elétricos no circuito.
O sinal é saído externamente através de um circuito de aumento, um circuito de correção, um sinal de potência linear de 0-5V e, por outro lado, é inserido no circuito de controle comparativo.
O sinal de configuração obtido externamente e o sinal de fluxo obtido do sensor formam um sinal de diferença no circuito de comparação e são enviados para o próximo circuito de acionamento da válvula.
Válvula de controle de fluxo, tanto quanto possível, para que o sinal de diferença seja "0", para que o fluxo seja sempre controlado na configuração do fluxo.
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SEC- (Controlador de fluxo de massa) |
E50 |
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Tipo de gás aplicável*1 |
Gases não corrosivos (modelo MK3 para N2, O2, ar, H2、Ar、He) |
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Material do departamento de contato de gás |
SUS316L. Borracha fluoretada. PTFE、 Aço inoxidável magnético |
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Tipo de válvula |
Desligado quando não estiver elétrico |
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Medição de fluxo padrão (N2 correspondente a F.S.) |
20/30 SLM |
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Alcance de controle de fluxo |
2-100% F.S. |
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Medição do fluxo |
0-100% F.S. |
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Velocidade de resposta |
Em menos de um segundo (T98) |
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Precisão do fluxo |
±1% F.S. |
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Linear |
±0,5% F.S. |
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Repetitividade |
±0,2% F.S. |
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Valor de pressão diferencial de trabalho |
10 SCCM-5 SLM: 50-300kPa (d) 10? 30 SLM: 100-300kPa (d) |
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Usar a pressão |
Abaixo de 300 kPa (G) |
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Resistência à pressão |
Menos de 1 MPa (G) |
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Taxa de vazamento externo |
1 × 10-8Pa / m3 / s (He) abaixo |
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Temperatura ambiente |
5? 50 ℃ (garantia da precisão: 15-35 ℃) |
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Configuração de sinal de tráfego |
0.1-5VDC (impedância de entrada acima de 1MΩ) / 2-100% F.S. |
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Sinal de saída de fluxo |
0-5VDC (resistência de carga mínima 2kΩ) |
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Alimentação de energia |
+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA |
+ 15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA |
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Conexão padrão*2 |
Tipo 1/4SWL |
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Especificações técnicas
*1: Consulte separadamente sobre tipos de gás que não sejam registrados.
*2 Também pode ser aplicado a conexões além da conexão padrão. Por favor, consulte separadamente.
*O SEC-E40/E50/E40MK3/E50MK3 possui a função de zero automático.
* A pressão de entrada é SEC-E40/50/60/E40MK3/E50MK3: valor máximo de 300 kPa (G); SEC-70/80: valor máximo abaixo de 350 kPa(G).
* SCCM, SLM são as unidades de fluxo do gás (mL / min, L / min, at, 0 ° C, 101,3 kPa).