Japão HORIBASTEC-8440F8450 Controlador de fluxo de massa de alta temperatura

Resumo
Um medidor de fluxo de massa é um dispositivo usado para medir ou controlar o fluxo de gás. O fluxo é geralmente dividido em fluxo volumétrico e fluxo de massa, mas o volume do gás é vulnerável à temperatura e à pressão externas, e se a medição precisa, as condições de medição precisam ser constantemente alteradas para se adaptar ao ambiente externo em constante mudança. O fluxo de massa é usado para medir a qualidade do gás, e a qualidade não é afetada pelo ambiente externo, o que pode fornecer detecção e controle de fluxo de alta precisão, e é amplamente utilizado no processo de fabricação de semicondutores.
Características
É um controlador de fluxo de massa equipado com válvulas piezoelétricas para uso em ambientes de alta temperatura.
1. Aplicável a altas temperaturas: pode atender a 150 ° C de assado
2. Modelos de produtos na linha de produtos que podem satisfazer a temperatura de uso
3. Tipo de ultra limpeza: construção de aço inoxidável do departamento de ventilação
4. mais adequado para MOCVD com materiais metálicos orgânicos, materiais de baixa pressão de vapor, controle de fluxo de gás corrosivo
Especificações

SEC-8340SL com aquecedor principal
Material do departamento de contato de gás	SUS-316L
Tipo de válvula	NO: Quando não estiver ligado: ligado
Medição de fluxo padrão	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
Alcance de controle de fluxo	2 a 100% F.S. (escala completa)
Precisão do fluxo	± 1,0% F.S. (escala completa) Temperatura de uso: 80 a 100 ℃

SEC-8340SM Aquecimento do corpo
Material do departamento de contato de gás	SUS-316L
Tipo de válvula	NO: Quando não estiver ligado: ligado
Medição de fluxo padrão	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
Alcance de controle de fluxo	2 a 100% F.S. (escala completa)
Precisão do fluxo	± 1,0% F.S. (escala completa) Temperatura de uso: 100 a 120 ℃

SEC-8440LSL (em inglês)
Material do departamento de contato de gás	SUS-316L
Tipo de válvula	NO: Quando não estiver ligado: ligado
Medição de fluxo padrão	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
Alcance de controle de fluxo	2 a 100% F.S. (escala completa)
Precisão do fluxo	± 1,0% F.S. (escala completa) Temperatura de uso: 15 a 35 ° C

SEC-8450LSL (em inglês)
Material do departamento de contato de gás	SUS-316L
Tipo de válvula	NO: Quando não estiver ligado: ligado
Medição de fluxo padrão	10/20 SLM
Alcance de controle de fluxo	2 a 100% F.S. (escala completa)
Precisão do fluxo	± 1,0% F.S. (escala completa) Temperatura de uso: 15 a 35 ° C

SEC-8455LSL (em inglês)
Material do departamento de contato de gás	SUS-316L
Tipo de válvula	NO: Quando não estiver ligado: ligado
Medição de fluxo padrão	30/50 SLM
Alcance de controle de fluxo	2 a 100% F.S. (escala completa)
Precisão do fluxo	± 1,0% F.S. (escala completa) Temperatura de uso: 15 a 35 ° C

SEC-8460LSL (em inglês)
Material do departamento de contato de gás	SUS-316L
Tipo de válvula	NO: Quando não estiver ligado: ligado
Medição de fluxo padrão	50/100 SLM
Alcance de controle de fluxo	2 a 100% F.S. (escala completa)
Precisão do fluxo	± 1,0% F.S. (escala completa) Temperatura de uso: 15 a 35 ° C

SEC-8440LSM (em inglês)
Material do departamento de contato de gás	SUS-316L
Tipo de válvula	NO: Quando não estiver ligado: ligado
Medição de fluxo padrão	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
Alcance de controle de fluxo	2 a 100% F.S. (escala completa)
Precisão do fluxo	± 1,0% F.S. (escala completa) Temperatura de uso: 35 a 60 ° C

SEC-8450LSM
Material do departamento de contato de gás	SUS-316L
Tipo de válvula	NO: Quando não estiver ligado: ligado
Medição de fluxo padrão	10/20 SLM
Alcance de controle de fluxo	2 a 100% F.S. (escala completa)
Precisão do fluxo	± 1,0% F.S. (escala completa) Temperatura de uso: 35 a 60 ° C

SEC-8455LSM (em inglês)
Material do departamento de contato de gás	SUS-316L
Tipo de válvula	NO: Quando não estiver ligado: ligado
Medição de fluxo padrão	30/50 SLM
Alcance de controle de fluxo	2 a 100% F.S. (escala completa)
Precisão do fluxo	± 1,0% F.S. (escala completa) Temperatura de uso: 35 a 60 ° C

SEC-8460LSM (em inglês)
Material do departamento de contato de gás	SUS-316L
Tipo de válvula	NO: Quando não estiver ligado: ligado
Medição de fluxo padrão	50/100 SLM
Alcance de controle de fluxo	2 a 100% F.S. (escala completa)
Precisão do fluxo	± 1,0% F.S. (escala completa) Temperatura de uso: 35 a 60 ° C

SEC-8440LSH
Material do departamento de contato de gás	SUS-316L
Tipo de válvula	NO: Quando não estiver ligado: ligado
Medição de fluxo padrão	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
Alcance de controle de fluxo	2 a 100% F.S. (escala completa)
Precisão do fluxo	± 1,0% F.S. (escala completa) Temperatura de uso: 60 a 80 ° C

SEC-8450LSH
Material do departamento de contato de gás	SUS-316L
Tipo de válvula	NO: Quando não estiver ligado: ligado
Medição de fluxo padrão	10/20 SLM
Alcance de controle de fluxo	2 a 100% F.S. (escala completa)
Precisão do fluxo	± 1,0% F.S. (escala completa) Temperatura de uso: 60 a 80 ° C

SEC-8455LSH
Material do departamento de contato de gás	SUS-316L
Tipo de válvula	NO: Quando não estiver ligado: ligado
Medição de fluxo padrão	30/50 SLM
Alcance de controle de fluxo	2 a 100% F.S. (escala completa)
Precisão do fluxo	± 1,0% F.S. (escala completa) Temperatura de uso: 60 a 80 ° C

SEC-8460LSH
Material do departamento de contato de gás	SUS-316L
Tipo de válvula	NO: Quando não estiver ligado: ligado
Medição de fluxo padrão	50/100 SLM
Alcance de controle de fluxo	2 a 100% F.S. (escala completa)
Precisão do fluxo	± 1,0% F.S. (escala completa) Temperatura de uso: 60 a 80 ° C

SEC-8440SL
Material do departamento de contato de gás	SUS-316L
Tipo de válvula	NO: Quando não estiver ligado: ligado
Medição de fluxo padrão	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
Alcance de controle de fluxo	2 a 100% F.S. (escala completa)
Precisão do fluxo	± 1,0% F.S. (escala completa) Temperatura de uso: 80 a 100 ℃

SEC-8450SL
Material do departamento de contato de gás	SUS-316L
Tipo de válvula	NO: Quando não estiver ligado: ligado
Medição de fluxo padrão	3/5/10 SLM
Alcance de controle de fluxo	2 a 100% F.S. (escala completa)
Precisão do fluxo	± 1,0% F.S. (escala completa) Temperatura de uso: 80 a 100 ℃

SEC-8455SL
Material do departamento de contato de gás	SUS-316L
Tipo de válvula	NO: Quando não estiver ligado: ligado
Medição de fluxo padrão	10/20 SLM
Alcance de controle de fluxo	2 a 100% F.S. (escala completa)
Precisão do fluxo	± 1,0% F.S. (escala completa) Temperatura de uso: 80 a 100 ℃

SEC-8460SL
Material do departamento de contato de gás	SUS-316L
Tipo de válvula	NO: Quando não estiver ligado: ligado
Medição de fluxo padrão	20/30/50 SLM
Alcance de controle de fluxo	2 a 100% F.S. (escala completa)
Precisão do fluxo	± 1,0% F.S. (escala completa) Temperatura de uso: 80 a 100 ℃

SEC-8440SM
Material do departamento de contato de gás	SUS-316L
Tipo de válvula	NO: Quando não estiver ligado: ligado
Medição de fluxo padrão	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
Alcance de controle de fluxo	2 a 100% F.S. (escala completa)
Precisão do fluxo	± 1,0% F.S. (escala completa) Temperatura de uso: 100 a 120 ℃

SEC-8450SM
Material do departamento de contato de gás	SUS-316L
Tipo de válvula	NO: Quando não estiver ligado: ligado
Medição de fluxo padrão	3/5/10 SLM
Alcance de controle de fluxo	2 a 100% F.S. (escala completa)
Precisão do fluxo	± 1,0% F.S. (escala completa) Temperatura de uso: 100 a 120 ℃

SEC-8455SM
Material do departamento de contato de gás	SUS-316L
Tipo de válvula	NO: Quando não estiver ligado: ligado
Medição de fluxo padrão	10/20 SLM
Alcance de controle de fluxo	2 a 100% F.S. (escala completa)
Precisão do fluxo	± 1,0% F.S. (escala completa) Temperatura de uso: 100 a 120 ℃

SEC-8460SM
Material do departamento de contato de gás	SUS-316L
Tipo de válvula	NO: Quando não estiver ligado: ligado
Medição de fluxo padrão	20/30/50 SLM
Alcance de controle de fluxo	2 a 100% F.S. (escala completa)
Precisão do fluxo	± 1,0% F.S. (escala completa) Temperatura de uso: 100 a 120 ℃

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