Japão HORIBASTEC-Z512MGX Controlador de fluxo de massa digital

Resumo
Os medidores de fluxo de massa são componentes essenciais em equipamentos de fabricação de semicondutores. Sua estabilidade de trabalho tende a ser um fator-chave para o sucesso ou fracasso de processos de semicondutores.
HORIBA STEC, Como fabricante de medidores de fluxo com mais de 35%*1 de participação de mercado em todo o mundo, há muito tempo oferecemos consistentemente produtos de alta qualidade e versáteis para a indústria de semicondutores. Agora, com a tecnologia totalmente nova, a HORIBA STEC está lançando um novo tipo de controlador de fluxo de massa em todo o mundo: a série Z500.
A série Z500X é um novo avanço em relação aos modelos antigos e está destinada a transformar o futuro da tecnologia de controle de fluxo. A conversão de gás composto e fluxo composto é possível ao mesmo tempo que fornece todas as funções necessárias para o controle de fluxo do cliente. Os clientes podem alterar facilmente o tipo e o alcance do gás do medidor de fluxo de acordo com as necessidades do processo*2.
Além disso, através da inovação tecnológica dos materiais do produto, a série Z500 atende totalmente aos requisitos de design dos produtos RoHS ecológicos, aumentando o valor do produto para os clientes.
Os medidores de fluxo da série Z500 de alto desempenho vão lhe dar mais surpresas. O mundo está testemunhando o nascimento deste novo tipo de medidor de fluxo de massa que está prestes a transformar toda a indústria de semicondutores.
*1 Consulte o estudo do VLSI de 2007.
*2 Função de gás composto e fluxo composto.
Características
Alta precisão: definir o valor de fluxo ± 1,0%.
A precisão linear do MFC é compensada pela curva de aproximação polynômica, que garante uma alta precisão de controle em todas as faixas de controle. Para melhorar a precisão do controle de vários tipos de gases reais, a HORIBA STEC desenvolveu sistemas padrão de medição de gases e coletou dados de calibração de vários gases de processo com base em um grande número de experimentos.
Resposta de alta velocidade
O SEC-Z500X usa um sistema de PID mutável recentemente desenvolvido que garante que as mudanças entre quaisquer dois pontos de fluxo de configuração sejam feitas em menos de 1 segundo. Quando diferentes fluxos são configurados, os dados PID são ajustados automaticamente e otimizados automaticamente para uma resposta de alta velocidade, mesmo após mudanças no tipo de gás e na faixa de fluxo.
Soluções de gás composto, fluxo composto
Os novos produtos HORIBA STEC permitem aos clientes mudar facilmente o tipo de gás e o fluxo no local. O nosso software de configuração Z500 é simples e fácil de usar. Melhor ainda, a conclusão dessas mudanças nem sequer requer a remoção do MFC do sistema. Desta forma, o número de peças de reposição do cliente pode ser reduzido significativamente, economizando tempo e custos.
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