Japão HORIBASTECE40MK3 / E50MK3 Controlador de fluxo de massa

NegociávelAtualização em05/24

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Japão HORIBASTECE40MK3 / E50MK3 Controlador de fluxo de massa

Detalhes do produto

Japão HORIBA STEC E40MK3 / E50MK3 Controlador de fluxo
O controlador de fluxo HORIBA STEC E40MK3/E50MK3 do Japão é um produto de produção em massa que realiza uma redução total de custos sem alterar as características de qualidade necessárias para o controlador de fluxo de massa. As especificações de materiais e vazamentos são totalmente consistentes com as séries SEC-400 e SEC-500 dos modelos gerais. Os principais usos são o controle do fluxo de gás para o processo, a produção em massa com foco na repetitividade e a limitação do tipo de gás, o fluxo, alcançando uma redução significativa de custos. Melhor para fluxo fixo, controle estável de longo prazo e repetição de controle. O mesmo se aplica ao simples controle de fluxo no instituto.
Controlador de fluxo HORIBA STEC E40MK3/E50MK3
1. com uso amplo
Procurar vantagens de custos e alcançar redução de custos

Japão HORIBA STEC E40MK3

Japão HORIBA STEC E40MK3/E50MK3 Especificações do controlador de fluxo

Modelo	SEC- (Controlador de fluxo de massa)	E40 / E40MK3	E50 / E50MK3
	SEF- (medidor de fluxo de massa)	E40	E50
Tipo de gás aplicável*1		Gases não corrosivos (modelo MK3 para N2, O2, ar, H2、Ar、He)
Material do departamento de contato de gás		SUS316L. Borracha fluoretada. PTFE、 Aço inoxidável magnético
Tipo de válvula		Desligado quando não estiver elétrico
Medição de fluxo padrão (N2 correspondente a F.S.)		10/20/30/50/100/200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM	20/30 SLM
Alcance de controle de fluxo (adequado para a Série SEC)		2 a 100% de F.S.
Medição do fluxo (adequado para a série SEF)		0 a 100% de F.S.
Velocidade de resposta		Em menos de um segundo (T98)
Precisão do fluxo		±1% F.S.
Linear		±0,5% F.S.
Repetitividade		±0,2% F.S.
Valor de pressão diferencial de trabalho (adequado para a Série SEC)		10 SCCM ~ 5 SLM: 50 ~ 300kPa (d) 10〜30 SLM: 100 ~ 300kPa (d)
Usar a pressão (adequado para a série SEF)		Abaixo de 300 kPa (G)
Resistência à pressão		Menos de 1 MPa (G)
Taxa de vazamento externo		1×10-8Pa・m3/s(He) abaixo
Temperatura ambiente		5 ~ 50 ℃ (garantia da precisão: 15 ~ 35 ℃)
Configuração de sinal de tráfego		0,1 ~ 5VDC (impedância de entrada acima de 1MΩ) / 2 ~ 100% F.S.
Sinal de saída de fluxo		0 ~ 5VDC (resistência de carga mínima 2kΩ)
Alimentação de energia		+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA	+ 15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA
Conexão padrão*2		Tipo 1/4SWL

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