Controlador de fluxo de massa de gás de hidrogênio

Os medidores/controladores de massa de gás da série MFC330 são estruturados com sensores de fluxo capilares, sistemas de desvio de desvio, válvulas proporcionais de alta precisão e sistemas de controle.

Depois que o gás medido entra, passa primeiro pelo sensor e pelo sistema de desvio de desvio. O fluxo de gás é medido em tempo real pelo sensor e a resposta dinâmica da válvula proporcional de alta precisão ajusta rapidamente o fluxo de gás aos valores definidos. A estrutura de circuito fechado para medir e regular o fluxo permite que o MFC330 mantenha um controle de fluxo estável, mesmo com mudanças na temperatura ambiente ou flutuações na pressão de entrada e saída.

Características do produto

Medição/controle preciso do fluxo de massa

Resposta rápida e alta repetitividade

Sem efeitos de temperatura e pressão

Diferença de pressão de trabalho: 0-1MPa

Perda de baixa pressão opcional

Válvula proporcional totalmente metálica opcional

Monitor integrado opcional

Soluções econômicas

Parâmetros principais

Requisitos de mídia Gás limpo e seco

Tipo de gás 98 + gás opcional

Alcance de medição 0-2, 10, 20, 50, 100, 300, 500 sccm

0-1, 2, 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 500slpm

Intervalo de medição 0,5% F.S. (1:200)

Gama de controle 1%-1 00% FS. (1:100)

Precisão ±1% F.S.

Precisão de repetição ± 0,2% F.S.

Linearidade ±0,2% F.S.

Tempo de resposta de controle <3 segundos

Tempo de pré-aquecimento 5 min (T95), 30 min

Válvula Normalmente fechada