Termostato de processo termoelétrico LAUDA-Noah POU: controle de temperatura de -20 a 90C

O termostato de processo termoelétrico LAUDA-Noah POU é usado na indústria de semicondutores e oferece controle de temperatura de -20 a 90C

Controle rápido e de temperatura para processos exigentes

O sistema de controle de temperatura termoelétrico on-line (POU) fornece um controle de temperatura estável para o processo de gravação ao plasma. O sistema controla dinamicamente a temperatura do ESC e pode ser usado em qualquer processo de gravação. O sistema termoelétrico de controle de temperatura LAUDA-Noah POU foi concebido com base no princípio da variação de temperatura dos componentes Parther. Essas peças originais permitem um controle rápido e preciso da temperatura, atendendo às exigências dos dispositivos cada vez mais pequenos de produção de hoje.

Funções importantes

Sistemas com baixo consumo de energia sem compressores e refrigerantes

Áreas industriais ocupam pequeno espaço, se colocadas abaixo do chão, não há requisitos de espaço

Preenchimento de líquido condutor térmico extremamente baixo

Acessórios padrão

Tanque de adição com bomba manual

Acessórios opcionais

Módulo de comunicação controlável remotamente (protocolo de comunicação RS-485)

O sistema de controle de temperatura LAUDA-Noah POU usa on-line (POU) para economizar até 90% de energia em comparação com o sistema de compressor. A opção de instalação opcional abaixo do chão reduz a área do sistema e poupa espaço na sala limpa.