-
E-mail
qeservice@enli.com.tw
-
Telefone
18512186724
-
Endereço
Quarto 409, Edifício A, 169, Rua Shengxia, Nova Distrito de Pudong, Xangai
Guangxue Tecnologia Co., Ltd.
qeservice@enli.com.tw
18512186724
Quarto 409, Edifício A, 169, Rua Shengxia, Nova Distrito de Pudong, Xangai
agressivoluzO imager de defeito de varredura é uma versão atualizada do teste de corrente de indução de feixe laser (LBIC). Ele usa um feixe de laser com comprimento de onda maior do que a lacuna de energia do semicondutor para irradiar o semicondutor, gerando pares eletrônicos-eletrônicos. Obtenha uma distribuição de imagens que revela mudanças na corrente interna ao digitalizar rapidamente a superfície da amostra para analisar a distribuição de vários defeitos. Isso ajuda a analisar a qualidade da preparação da amostra e ajuda a melhorar o processo.
●Varredura a distribuição da corrente fotográfica
●Distribuição de tensão óptica de varredura
●Varredura a distribuição de tensão de circuito aberto e corrente de curto-circuito
●Análise da poluição superficial
●Análise da distribuição das áreas de curto-circuito
●Identificação e análise de áreas de microfissuras
●Análise da distribuição de alguns comprimentos de difusão de veículos (opcional)


![]()






| projeto | Descrição dos parâmetros. |
|---|---|
| Funções | A. Usando o feixe de laser de comprimento de onda com energia superior ao intervalo de banda do semicondutor para gerar pares de buracos eletrônicos no semicondutor, explorar o impacto da área de esgotamento nas mudanças de corrente interna, entender e analisar a distribuição de vários defeitos como uma direção para a melhoria do processo. b. Capacidade de digitalizar a distribuição da corrente fotobiótica na superfície da amostra. C. Capaz de digitalizar a distribuição da tensão óptica da superfície da amostra. Capacidade de digitalizar a distribuição de tensão de circuito aberto e corrente de curto-circuito. Capacidade de analisar a poluição superficial. F. Capacidade de analisar a distribuição de áreas de curto-circuito. G. Capacidade de identificar e analisar as áreas de microfissuras. H. Capacidade de analisar a distribuição de comprimentos de difusão de alguns portadores (opcional). |
| Fontes de incentivo |
Laser de 405 ± 10nm Laser de 520 ± 10nm Laser de 635 ± 10nm Laser de 830 ±10nm |
| Área de varredura | ≥ 100 milímetros × 100 milímetros |
| Tamanho da mancha laser | Perto do ponto de modo TEM00 |
| Resolução de mapeamento |
A. Resolução de varredura ≤ 50 µm b. Resolução de varredura pode ser configurada através do software |
| Tempo de mapeamento | < 4 minutos (100mm x 100mm, resolução 50um) |
| Aspectos | 60 cm * 60 cm * 100 cm |
| Software | A. Visualização 3D LBIC b. Análise de secção transversal 2D (proporção longitudinal do eletrodo) c. Análise da distribuição da resposta de corrente óptica (em combinação com uma fonte laser de comprimento de onda longo) Funções de armazenamento e exportação de dados |