Equipamento de processo fotográfico

NegociávelAtualização em02/09

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Visão geral

Visão geral do produto do equipamento de processo de fotografia: $n aplicado a embalagens 3D, LED、 Sistemas micromecânicos, semicondutores compostos, dispositivos de potência e outras áreas $ n principais configurações: alinhamento automático, exposição automática, fonte de luz LED, sistema de alinhamento de visão de máquina, suporte de folha de silício de alta precisão, sistema de compensação automática de erro de cunha $ n fonte de luz LED: 3 comprimentos de onda arbitrariamente configurados, suporte a mais cenários de aplicação $ n alta resolução, alta uniformidade; Longa vida útil e fácil manutenção: $n sistema de alinhamento de visão de máquina: alinhamento duplo de modo superior e inferior, grande campo de visão, alta precisão; 4 tipos de iluminação opcional, forte adaptabilidade do processo; Alternação livre dos modos manual e automático

Detalhes do produto

Equipamento de processo fotográficoVisão geral do produto:

Aplicado em embalagens 3D, LED、 Sistemas microeletrônicos, semicondutores compostos, dispositivos de potência, etc.

Configuração principal: alinhamento automático, exposição automática, fonte de luz LED, sistema de alinhamento de visão de máquina, suporte de placa de silício de alta precisão, sistema automático de compensação de erros de cuneia.

Fonte de luz LED: 3 comprimentos de onda arbitrariamente configurados para suportar mais cenários de aplicação.

alta resolução e uniformidade; Longa vida útil e fácil manutenção:

Sistema de alinhamento de visão de máquina: alinhamento duplo de modo superior e inferior, grande campo de visão, alta precisão; 4 tipos de iluminação opcional, forte adaptabilidade do processo; Alternação livre dos modos manual e automático.

Equipamento de processo fotográficoParâmetros técnicos:

Máscara, Silicone
Dimensão da placa de silício	8'/ 6'
Espessura da placa de silício	máximo 10 mm
Tamanho da máscara	9' × 9' / 7' × 7' (SEMI)
Espessura da máscara	máximo 6,35 mm
Modo de exposição
Contacto	Contato suave, contato rígido, contato a vácuo
Espaço de exposição	0 ~ 1000 μm
Precisão do intervalo	1 milímetro
Intensidade de exposição	0 ~ ≥40mw/cm 2
Exposição
Tipo de fonte de luz	LED
Comprimento de onda de exposição	365nm e 405nm
Uniformidade da luz	≤4% 8' / ≤3% 6'
Resolução	Contato a vácuo ≤1um
	Contato rígido ≤1.5μm
	Contato suave ≤2.2μm
	Espaço ≤3.6μm
Modo Alinhamento
Alinhamento superior	< ± 1 μm
Alinhamento inferior opcional	< ± 2 μm
Área de foco de alinhamento superior	5 milímetros
Alinhamento inferior do intervalo de foco	5 milímetros
suporte de silicone
Área de movimento	X: ± 5 mm: ± 5 mm θ: ± 5 °
Resolução	0,04 μm
lente alinhada superior
Área de movimento	6' 40 ~ 150 milímetros
	8' 40 ~ 200 milímetros
Alinhamento inferior
Área de movimento	6' 40 ~ 150 milímetros
	8' 40 ~ 200 milímetros
interface usuário
do Windows 10	Menu de processo armazenado
Necessidades do local
vácuo < -0,8 kPa; nitrogênio > 0,5 MPa; Ar comprimido: 0,6 ~ 0,8 Mpa
demanda por energia
Tensão: 230 V ± 10%	Frequência: 50 ~ 60 Hz
Dimensão Peso
comprimento x largura x: 1200 x 1000 mm	Altura: 1973 mm Peso: ~ 400 kg

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