MEMS e nanotecnologia

MEMS e nanotecnologia

Micro-sistemas eletromecânicos (MEMS) são usados ​​hoje em muitas áreas de aplicação, incluindo sensores de pressão e aceleração, dispositivos de visualização de lentes de microcristal e bombas de fluidos em miniatura. Os dispositivos MEMS aproveitam as tecnologias de fabricação usadas pela indústria de circuitos integrados para criar componentes mecânicos, como engrenagens, diafragmas e vigas de ligação. A medição precisa de todos esses componentes é essencial para atender aos requisitos de produção em massa de dispositivos MEMS de baixo custo e alta qualidade.

Medição

Rugidade
Medindo com precisão a rugosidade dentro de um dispositivo MEMS, as interações da superfície podem ser controladas - sejam elas interações entre sólido e sólido em um sistema de micro engrenagens ou interações entre sólido e líquido em uma bomba de fluidos em miniatura.

Altura das escadas
Monitorar a altura dos degraus de um dispositivo MEMS é um indicador importante de desempenho. A altura dos degraus, juntamente com a informação de tamanho horizontal, fornece uma aproximação de massa eficaz que pode afetar a frequência de oscilação básica de componentes individuais no dispositivo.

Dimensão horizontal
As dimensões horizontais são particularmente importantes na qualificação de sistemas de microengrenagens e fluidos. A medição precisa do volume e da área de superfície, bem como dimensões importantes, como a largura da viga, ajuda a controlar o desempenho do dispositivo final*.