Controlador de fluxo de massa

O G100CControlador de fluxo de massacaracterística

lControle de alta precisão e resolução

lDC9-36VAlimentação de ampla tensão

lBaixa potência, potência2W

lIntegração40Tipos de gás básico

lPersonalizável10Mistura de gases

lFunção de auto-ajuste de parâmetros de controle

lcontrole digital,RS-485Modbus Modo de comunicação RTU

lAmpla gama de medição de fluxo

lSem necessidade de pré-aquecimento

lSem restrição de direção de instalação

lAlta repetibilidade e confiabilidade

lVálvula proporcional eletromagnética, longa vida útil e rápida resposta

lPropria compensação de temperatura, gama de compensação0-50℃

lControle de circuito fechado interno com alta estabilidade

lTamanho pequeno da embalagem

Medidas e precisão

lDimensões disponíveis:

nmáximo0-20do SLPM

nmínimo0-10sccm

nEscala permanente Consulte a tabela de seleção

lProporção:100:1

lPrecisão total:±0.5%

lPrecisão de leitura:±1%

lRepetibilidade:±0.5%FS

lTempo de resposta: <100ms (regulação P)IdentificaçãoParâmetros de controle para reduzir o tempo de resposta)

Introdução ao Design Digital

Série G100CControlador de fluxo de massaCom sensores de alta precisão e circuitos digitais padrão, os circuitos digitais completam todas as funções básicas necessárias para medição e controle. Série G100C com padrão RS-485ModbusRTUModo de comunicação.RS-485O ônibus pode ser expandido até255equipamentos ao mesmo tempo.

Área de aplicação

lCromatográficas de fase gás e líquida

lProcesso de semicondutores

lEquipamento de monitoramento ambiental

lDispositivos de microreação e equipamentos de preparação de materiais (CVD）

lGerador de gás

lSistema de mistura de gás