Controlador de fluxo de massa

do G300CControlador de fluxo de massaCaracterísticas

Controle de alta precisão e resolução

Baixa potência, potência <2W

Integração de 20 tipos de gases básicos

Personalização de 10 misturas de gases

Função de auto-ajuste de parâmetros de controle

Controle digital, modo de comunicação RS-485 Modbus RTU

Ampla gama de medição de fluxo

Sem necessidade de pré-aquecimento

Sem restrição de direção de instalação

Alta repetibilidade e confiabilidade

Válvula proporcional eletromagnética, longa vida útil e rápida resposta

Propria compensação de temperatura, gama de compensação 0-50 ℃

Controle de circuito fechado interno com alta estabilidade

Tamanho pequeno da embalagemMedidas e precisão

Dimensões disponíveis:

最大 0-50 do SLPM

Mínimo 0-1sccm

Escala permanente Consulte a tabela de seleção

Proporção: 1000:1

Precisão total: ± 0,2%

Precisão de leitura: ± 0,8%

Repetibilidade: ± 0,2% FS

Tempo de resposta: <100ms (ajuste dos parâmetros de controle PID escalável)Tempo de resposta curto)

Introdução ao Design DigitalSérie G300CControlador de fluxo de massaTransmissão padrão de alta precisãoSensores e circuitos digitais para medição e controletodas as funções básicas necessárias. Série G300C com padrãoModo de comunicação RS-485 Modbus RTU. Bus RS-485 mais altoPode ser expandido para 255 dispositivos ao mesmo tempo.

Área de aplicação

Cromatográficas de fase gás e líquida

Processo de semicondutores

Equipamento de monitoramento ambiental

Dispositivos de microreação e equipamentos de preparação de materiais (CVD (em inglês)

Gerador de gás

Sistema de mistura de gás