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Quarto 4527, Block C, Oriental Hope Tianxiang Square, 500-1, Central, Avenida Tianfu, Distrito de Alta Tecnologia, Chengdu, Sichuan
Gaosmo (Chengdu) International Trade Co., Ltd
Quarto 4527, Block C, Oriental Hope Tianxiang Square, 500-1, Central, Avenida Tianfu, Distrito de Alta Tecnologia, Chengdu, Sichuan
Medidor de espessura de filme diferencial
Medidor de espessura de filme diferencial
● O espectrômetro de espessura de membrana diferencial da série OPTM é um elipímetro alternativo para testar a espessura de membrana, a taxa de refração n, o coeficiente de dissipação k e a taxa de reflexão absoluta. É adequado para o teste de uma variedade de camadas de membrana permeável e pode remover o reflexo traseiro para o substrato transparente, para alcançar o objetivo do teste de "refletidão real, espessura da membrana". Além disso, o software é simples de operar, fácil de usar e simplifica processos de modelagem complexos.
● Não-contato, não-destrutivo, cabeça de medição livre para integração no sistema do cliente
• Os iniciantes também podem analisar facilmente os padrões de análise de iniciantes da modelagem
● Medição de alta precisão e alta reprodutividade da refletidão absoluta dentro da faixa ultravioleta ao infravermelho próximo, que pode analisar a espessura da película fina de várias camadas, constantes ópticas (n: refração, k: fator de extinção de luz)
• Aumento de foco em um único ponto em 1 segundo
● Sistema óptico de ampla gama sob luz diferencial (ultravioleta ~ infravermelho próximo)
Cabeça de teste independente para diversas necessidades de personalização inline
Spot mínimo correspondente de cerca de 3 μm
Projetos de medição
Análise da Reflexividade Absoluta
• Análise de camadas múltiplas (50 camadas)
Constantes ópticas (n: índice de refração, k: fator de extinção)
As amostras de substratos transparentes, como membranas ou vidro, não podem ser medidas corretamente devido ao reflexo interno do substrato. A série OPTM usa objetivos que permitem a remoção física dos reflexos internos, permitindo medições de alta precisão até mesmo em substratos transparentes. Além disso, para amostras como membranas ópticamente heterodiretas ou SiC, a membrana acima também pode ser medida separadamente.
(Número 5172203)
Ámbito de aplicação
● Semicondutores, semicondutores compostos: semicondutores de silício, semicondutores de carboneto de silício, semicondutores de arseneto de gálio, fotogravura, materiais de constante dielétrica
FPD: LCD, TFT, OLED (EL orgânico)
● Armazenamento de dados: DVD, filme de cabeça magnética, material magnético
● Materiais ópticos: filtro, película antirreflexo
● Monitor plano: LCD, transistor de película fina, OLED
● Películas finas: AR, HC, PET, etc.
Outros: materiais de construção, colas, DLC, etc.
O OPTM-A1 |
O OPTM-A2 |
O OPTM-A3 |
|
|---|---|---|---|
Intervalo de comprimento de onda |
230 ~ 800 nm |
360 ~ 1100 nm |
900 ~ 1600 nm |
Gama de espessura da membrana |
1nm ~ 35μm |
7nm ~ 49μm |
16nm ~ 92μm |
Tempo de medição |
1 segundo / 1 hora |
||
Tamanho do diámetro |
10μm (mínimo de aproximadamente 3μm) | ||
Sensores de luz |
CCD |
InGaAs |
|
Especificações da fonte de luz |
lâmpada de deutério |
Lâmpadas de halogênio |
|
dimensão |
556(L) X 566(D) X 618(H) mm (Parte principal da plataforma XY automática) | ||
peso |
66 kg (parte principal da plataforma XY automática) |
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Marcas: CCS Nissan, EYE Iwasaki, REVOX Leypax, SERIC Solec
SONIC Sonic, SANKO 三高, NEWKON 新光, NPM 日SonSonSonSonic, Sugiyama Sugiyama
NS Ciência do Japão, DRY-CABI, TOKISANGYO, SIBATA Shida
Marcas vantajosas: USHIO Cowtail, TOPCON Topcon, FUNATECH Ship Yonglong, ORC Eurasia, HAYASHI Forest Relógio
SAGADEN Saga, Sakazume Saka, DNP Big Japan Research, TOKYO DENSHOKU Electric Color, KKIMAC
S-VANS Swans, ORIHARA Takahara, LUCEO Rukiyo, HIKARIYA 光屋, YAMADA Yamada óptica
AND, T&D, JIKCO, DKK-TOA, Okano Okano
IMV Aimeiko, Mitutoyo Sanyo, Kyowa Republic, Onosokki Ono, Sanei Sanyo
HEIDON, KURABO, SHOWA, THINKY