Novo eletroscópio de varredura de lançamento de campo SHORT SU7000

Novo eletroscópio de varredura de lançamento de campo SHORT SU7000
- Disponibilidade de várias informações de amostras para análise de alto fluxo -

O SCHOTT Base Field lançou o eletroscópio de varredura SU7000, que reduziu o tempo para obter muitas informações de amostras através da coleta de vários sinais, permitindo realmente observações e análises de alto fluxo.

Visão externa do SU7000

O microscópio eletrônico de varredura (SEM) pode obter uma variedade de informações, desde microestruturas até componentes, através da detecção de eletrônicos secundários, eletrônicos de retrodispersão e sinais excitados por amostras, por isso é amplamente utilizado em nanotecnologia, semicondutores, dispositivos eletrônicos, biologia, materiais e muitas outras áreas. À medida que o âmbito de aplicação do SEM se expande, a necessidade de reduzir o tempo de observação e capturar sinais de forma rápida e eficiente aumenta ainda mais.
O SU7000 possui um novo detector que melhora significativamente a detecção de sinais eletrônicos secundários, de sinais eletrônicos de dispersão inversa e a capacidade de separação. Anteriormente, precisávamos ajustar a distância entre a amostra e a lente (distância de trabalho / WD) de acordo com o sinal obtido para definir as condições de observação e análise mais adequadas, enquanto o SU7000 recebe sinais de forma mais eficiente sem alterar as condições de WD, reduzindo o tempo de observação e análise da amostra e melhorando a eficiência do teste.
Além disso, o SU7000 possui uma interface de exibição de 6 canais simultaneamente (os modelos anteriores só podem exibir 4 canais simultaneamente), atualizando ainda mais o sistema de controle SEM para melhorar significativamente a velocidade de captação de sinal, permitindo a observação de alto fluxo de amostras.
Ele também é equipado com armazéns de amostras ultra-grandes e com uma interface de acessório para a observação e análise de uma variedade de amostras.
A Hitachi Hightech apresentará o SU7000 na "Microscopy & Microanalysis" no estado de Maryland, EUA, de domingo a quinta-feira, de 9 de agosto, e na "JASIS 2018" no Centro de Exposição de Shrine (Chiba, prefeitura de Chiba), de quarta-feira, de 5 de setembro a sexta-feira, de 7 de setembro.
A unidade de negócios de sistemas científicos de alta tecnologia da Hitachi tem como objetivo estratégico de médio prazo tornar-se a primeira na indústria de microscópios eletrônicos em 2020, e continuará empenhada em promover a pesquisa e o desenvolvimento de produtos e a comercialização no futuro, esforçando-se para contribuir ainda mais para a indústria de fabricação global. Como uma empresa avançada e inovadora de carreira, no futuro, com o objetivo de se tornar uma empresa de classe mundial que fornece soluções de alta tecnologia, sempre na posição do cliente e atender rapidamente às necessidades dos clientes e do mercado.

[Características principais]
Sob as mesmas condições de WD, é possível realizar simultaneamente a observação de eletrões secundários, eletrões de retrodispersão e análise de raios-X
Detecção e exibição de até 6 canais simultaneamente
Dados de imagem também disponíveis com pixels máximos de 10.240 x 7.680
Máximo de 18 interfaces de acessórios configuradas no mesmo nível*
Suporta o modo de baixo vácuo com um mínimo de 300Pa (opcional)
* Resolução espacial inferior a 1 nm/1 kV

[Especificações Principais]

Conceito chave

1. Capacidade de imagem versátil
   O SU7000 se destaca na aquisição rápida de múltiplos sinais para atender às necessidades expansivas de SEM, desde a imagem de um amplo campo de visão até a visualização de estruturas sub-nanométricas e tudo o que está entre elas.
   A incorporação de sistemas de detecção e óptica de eletrões recentemente projetados permite a aquisição simultânea eficiente de múltiplos eletrões secundários e sinais de eletrões retrodispersos.
2. Imagem multicanal
   O número de detectores montados no SEM está sempre aumentando, juntamente com a necessidade de exibir todas as informações coletadas de forma eficaz.
   O SU7000 é capaz de processar, exibir e salvar até 6 sinais simultaneamente para maximizar a aquisição de informações.
3. Ampla variedade de técnicas de observação
   A câmara da amostra e o sistema de vácuo são otimizados para:
   ・ Tamanho da espécime grande
   ・ Manipulação da amostra em vários eixos
   ・ Condições de pressão variáveis
   ・ Condições criogénicas
   ・ Observação in situ de aquecimento e resfriamento
4. Microanálise
   A arma de elétrons está equipada com um emissor Schottky que fornece até 200 nA de corrente de feixe para acomodar várias aplicações de microanálise.
   O layout da câmara de espécimes e da porta são projetados para incorporar múltiplas opções analíticas, incluindo EDX, WDX, EBSD, catodoluminescência e muito mais.
   O SU7000 com a combinação de inúmeros acessórios analíticos unifica técnicas multidisciplinares em uma única plataforma.

Desempenho de imagem

Melhoria da aquisição de informações

Imagem de múltiplos sinais de varredura única

Espécimen: Varas de ouro revestidas orgânicamente

Espécime cortesia de: Sr. Smart e Sra. Je Departamento de Química,
Colégio Vassar

Aquisição simultânea de imagens para informações microestruturais de superfície (IM), revestimento de superfície (MD) e informações topográficas gerais (LD). Tensão de aceleração: 1 kV

Interface gráfica intuitiva do usuário

Display de sinal melhorado

• Modos de exibição personalizáveis.
• Configurações de monitor único e duplo.
• Visualização simultânea de imagem de até 4 canais (único) e 6 canais (duplo).
• Ámbito da câmara e SEM MAP para navegação óptica de palco.

Layout de tela altamente flexível

O software é capaz de exibir 1, 2 ou 4 sinais, incluindo o escopo da câmara ou SEM MAP em um único monitor.
Além disso, o painel de operação pode ser personalizado para exibir submenus em qualquer lugar da tela.

Monitor duplo

O primeiro monitor pode ser usado como um display de imagem dedicado, enquanto o segundo monitor é utilizado para operação.
Cinco imagens do detector (UD, LD, UVD, MD e PD-BSED) e MAP SEM de inclusões não metálicas em um espécime de aço são exibidas (esquerda).
A tela mostra o menu do painel de operação e a janela de imagem em miniatura em uma tela (direita).
A configuração de monitor duplo suporta maior produtividade com w expandido

Observação e análise expansíveis

Câmara de espécime grande e palco grande

A câmara de espécimes pode acomodar um espécime alto de φ 200 mm ou 80 mm de altura e 18 portas acessórias. O palco grande viaja 135 mm (X) x 100 mm (Y) e pode aceitar até 2 kg de espécime.^(*)Espécimen grande ou tipo variável de sub-estágios podem ser facilmente montados na porta de estágio grande de abertura frontal.

(*) em inclinação de 0°

Navegação da câmera^(*)

Esquerda: Imagem da amostra capturada pela câmera equipada dentro da câmara.
Direita: Imagem da câmera transferida para a tela SEM MAP para navegação.

O recurso de navegação da câmera correlaciona uma imagem óptica com a área de observação alvo.
A câmera instalada na câmara da amostra captura a imagem da amostra no momento da introdução da amostra. A imagem é transferida para a tela SEM MAP para uma interface de navegação gráfica.
A navegação da câmera suporta um máximo de espécimes de φ 100 mm.

(*)

Função de navegação da câmera é opcional

Sistema de detecção que permite a observação dinâmica

O SU7000 suporta a observação em várias condições ambientais. Uma variedade de detectores^(*)tais como UVD e DM são selecionáveis além do PD-BSED para observação em condições de baixo vácuo.

Seleção do detector sob condições de baixo vácuo
Espécime: Fibra com óxido metálico
Esquerda: imagem MD (elétron retrodisperso)
Direita: UVD (imagem SE)
O estado de dispersão de óxido e de camadas de fibra são observados respectivamente.

Esquerda: Resposta PD-BSED tradicional à taxa de digitalização de 30 ms x 64 quadros
Direita: imagem SU7000 PD-BSED demonstrando melhor resposta e qualidade de imagem para expandir a capacidade de observação in situ