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Beijing Zhongke Aobo Technology Co., Ltd
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Máquina de limpeza ao plasma

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Visão geral

As máquinas de lavagem a plasma, como equipamento de tratamento de superfícies microssolidas, são uma solução totalmente nova para o tratamento de superfícies. O plasma é um estado da matéria, também chamado de quarto estado da matéria. Aplicando energia suficiente ao gás, ele se torna um estado de plasma. Os componentes "ativos" do plasma incluem: íons, elétrons, grupos ativos, núcleos excitados (estáveis), fótons, etc. As máquinas de limpeza de plasma são usadas ​​para tratar a superfície da amostra usando as propriedades desses componentes ativos para fins de limpeza.

Detalhes do produto

Máquina de limpeza ao plasmaComo um dispositivo de tratamento de superfícies microsólidas, é uma solução totalmente nova de tratamento de superfícies. O plasma é um estado da matéria, também chamado de quarto estado da matéria. Aplicando energia suficiente ao gás, ele se torna um estado de plasma. do plasma.AtividadeOs componentes incluem: íons, elétrons, grupos ativos, núcleos em estado excitado (estado subestável), fótons, etc.Máquina de limpeza ao plasmaÉ através da utilização das propriedades desses componentes ativos para tratar a superfície da amostra e, assim, alcançar fins como limpeza.

Aplicado principalmente em semicondutores, revestimentos,PCBprocesso,PCBAntes da embalagem dos componentes,COGLimpeza de precisão em indústrias como eletrônica frontal, eletrônica a vácuo, conectores e relés, ativação de superfícies como plásticos, borracha, metais e cerâmica e experimentos em ciências da vida.

A máquina de limpeza incorpora um armazém de quartzo de alta pureza e usa um novo design de estrutura de eletrodos e tecnologia de alimentação de estado sólido para aumentar o volume eficaz, combinar facilmente em diferentes ambientes de gás de vácuo e controlar a frequência estável. A porta do depósito de vácuo tem uma janela de observação, o processo de manuseio do objeto pode ser intuitivo, sua fonte de energia e controle de radiofrequência são montados dentro de uma caixa, isto é, reduz a ocupação de espaço, é mais fácil de operar e colocar, ao mesmo tempo em comparação com a máquina de limpeza grande, a partir da função de detecção e a função de controle pode ser operada em um painel, especialmente aplicável a experimentos científicos limpeza de amostras e ensino.

Modelo de equipamento

Z5KQX

S2DQX

Modo de controle

7Interface de tela táctil de polegadas

7Interface de tela táctil de polegadas

Alimentação

AC220VAC110VOpcional)

Corrente de trabalho

A corrente de trabalho não é maior do que3.5A(Sem bomba de vácuo)

Potência de RF

500W

150W

Método de correspondência

Correspondência automática

Correspondência manual

Frequência de limpeza

40 KHz

13,56 MHz

Método de acoplamento

Acoplamento capacitivo

Vácuo de trabalho

≤30Pa

≤50Pa

Material da cavidade

Quartzo de alta pureza

Volume da Câmara

5L(Diâmetro internoΦ152mmXProfundidade280 milímetros)

2L(Diâmetro internoΦ110mmXProfundidade220 milímetros)

Observar o diâmetro interno da janela

Φ50

Φ50

Fluxo de gás

0-50ml/min(Sensor de fluxo de massa térmica)X2um)

Medição de vácuo

1E5Papara1E-1Pa(Vácuômetro Pilani)

Controle do processo

Alternação automática

Alternação automática de correspondência manual

Tempo de limpeza

Interruptor automático

Modo de abertura

Flange aberta lateral de dobradiça

Dimensões

450*450*250mm

450*450*360mm

Temperatura da sala de vácuo

Menos que65°C

Método de arrefecimento

Refrigeração a ar forçada

Padrão

O KF16Tubo de vácuo1Mi.KF16braçadeira2Um, caixa de rede de aço inoxidável1Um cabo de alimentação, um manual.