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Xili, Yao Jiayuan, Distrito de Chaoyang, Pequim
Beijing Zhongke Aobo Technology Co., Ltd
Xili, Yao Jiayuan, Distrito de Chaoyang, Pequim
Máquina de limpeza ao plasmaComo um dispositivo de tratamento de superfícies microsólidas, é uma solução totalmente nova de tratamento de superfícies. O plasma é um estado da matéria, também chamado de quarto estado da matéria. Aplicando energia suficiente ao gás, ele se torna um estado de plasma. do plasma.“Atividade”Os componentes incluem: íons, elétrons, grupos ativos, núcleos em estado excitado (estado subestável), fótons, etc.Máquina de limpeza ao plasmaÉ através da utilização das propriedades desses componentes ativos para tratar a superfície da amostra e, assim, alcançar fins como limpeza.
Aplicado principalmente em semicondutores, revestimentos,PCBprocesso,PCBAntes da embalagem dos componentes,COGLimpeza de precisão em indústrias como eletrônica frontal, eletrônica a vácuo, conectores e relés, ativação de superfícies como plásticos, borracha, metais e cerâmica e experimentos em ciências da vida.
A máquina de limpeza incorpora um armazém de quartzo de alta pureza e usa um novo design de estrutura de eletrodos e tecnologia de alimentação de estado sólido para aumentar o volume eficaz, combinar facilmente em diferentes ambientes de gás de vácuo e controlar a frequência estável. A porta do depósito de vácuo tem uma janela de observação, o processo de manuseio do objeto pode ser intuitivo, sua fonte de energia e controle de radiofrequência são montados dentro de uma caixa, isto é, reduz a ocupação de espaço, é mais fácil de operar e colocar, ao mesmo tempo em comparação com a máquina de limpeza grande, a partir da função de detecção e a função de controle pode ser operada em um painel, especialmente aplicável a experimentos científicos limpeza de amostras e ensino.
Modelo de equipamento |
Z5KQX |
S2DQX |
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Modo de controle |
7Interface de tela táctil de polegadas |
7Interface de tela táctil de polegadas |
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Alimentação |
AC220V(AC110VOpcional) |
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Corrente de trabalho |
A corrente de trabalho não é maior do que3.5A(Sem bomba de vácuo) |
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Potência de RF |
500W |
150W |
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Método de correspondência |
Correspondência automática |
Correspondência manual |
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Frequência de limpeza |
40 KHz |
13,56 MHz |
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Método de acoplamento |
Acoplamento capacitivo |
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Vácuo de trabalho |
≤30Pa |
≤50Pa |
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Material da cavidade |
Quartzo de alta pureza |
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Volume da Câmara |
5L(Diâmetro internoΦ152mmXProfundidade280 milímetros) |
2L(Diâmetro internoΦ110mmXProfundidade220 milímetros) |
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Observar o diâmetro interno da janela |
Φ50 |
Φ50 |
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Fluxo de gás |
0-50ml/min(Sensor de fluxo de massa térmica)X2um) |
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Medição de vácuo |
1E5Papara1E-1Pa(Vácuômetro Pilani) |
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Controle do processo |
Alternação automática |
Alternação automática de correspondência manual |
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Tempo de limpeza |
Interruptor automático |
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Modo de abertura |
Flange aberta lateral de dobradiça |
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Dimensões |
450*450*250mm |
450*450*360mm |
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Temperatura da sala de vácuo |
Menos que65°C |
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Método de arrefecimento |
Refrigeração a ar forçada |
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Padrão |
O KF16Tubo de vácuo1Mi.KF16braçadeira2Um, caixa de rede de aço inoxidável1Um cabo de alimentação, um manual. |
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