Equipamento de limpeza a seco de semicondutores do analisador de ozônio de processo

Equipamento de limpeza a seco de semicondutores do analisador de ozônio de processoUm módulo de detecção de gases para medição de altas concentrações de ozônio para a detecção de concentrações de ozônio gaseoso em processos industriais. Com base no conceito do princípio de absorção espectral ultravioleta, o uso do gás de ozônio para o tamanho diferente da absorção específica de raios ultravioletas, para alcançar o propósito da detecção de concentração de ozônio, usando a estrutura da câmara de detecção resistente ao impacto de alta pressão e o design de controle de termostato, com precisão e confiabilidade.

Área de aplicação

Este instrumento é usado principalmente para medir a concentração de ozônio gasoso gerada durante a fabricação de chips de semicondutores, tratamento de água e pesquisa de ozônio.0-400mg / L。

Produtos especiaisponto
①Alta estabilidade;

②Utilização de sistemas de controle automático;

③Projeto de materiais de contato de alta pureza;

④Temperatura, pressão.、Fonte de LuzEm tempo realCompensaçãoEstabilidade e precisão dos dados em diferentes ambientes;

⑤O projeto de linha reta da via do ar torna a instalação do produto mais conveniente;

⑥O anel de vedação é composto de éter perfluorado e é mais resistente à corrosão do ozônio.

Equipamento de limpeza a seco de semicondutores do analisador de ozônio de processoTecnologiaparâmetro
Quantidade Programa:0-400 mg / L
Excelente grau：1% FS
Pesado Repetiçãosexo：1% FS

zero flutuando Mover:1% F.S / mês
Tempo de resposta：2 segundos a 95%

Fluxo de gás:0,5-25L/min

Faixa de pressão:0-115psi
simulação de saída：0-5V

Comunicação serial:RS485， Taxa de transmissão 9600bps

Entrada de energia:15V

pegar 口：316L aço inoxidável 1/4VCR junção

Tempo de pré-aquecimento:15 minutos

Temperatura de funcionamento:5～45℃

Temperatura padrão:0℃
pés Polgadas:170*55*134.9milímetros
Pesado Quantidade:1.1k