SEC-Z500X Controlador de fluxo de massa digital multi-alcance/multi-gás

• Alta precisão ±1,0% ponto de ajuste
  A linearidade deste controlador de fluxo de massa é compensada por uma curva de aproximação polynômica e permite uma alta precisão dentro da faixa de controle de fluxo. Para melhorar a precisão dos gases reais, os dados de calibração dos diferentes gases de processo são medidos pelo sistema de medição de gases padrão da HORIBA STEC.
• Resposta de alta velocidade
  O sistema PID variável é montado para uma resposta de 1 segundo entre dois pontos de configuração. O PID variável muda constantemente de acordo com as configurações do ponto de fluxo. Otimize o coeficiente PID quando o fluxo e o gás mudam em escala completa.
• Soluções multigás/multidimensionais
  O software de configuração permite alterar as especificações de forma rápida e fácil. Uma característica importante é que as alterações podem ser feitas sem a necessidade de remover o controlador de fluxo de massa do painel de controle de gás ou do tubo. Reduz o número de controladores de fluxo de massa de reposição necessários, economizando tempo e custos.

O controlador de fluxo de massa SEC-Z500X é adequado para uma variedade de aplicações e para a fabricação de semicondutores.