O SU1510

Especificações padrão

(1) Especificações básicas

Resolução de imagem SE 3,0 nm a 30 kV (x100.000, WD = 5 mm, modo de alto vácuo)
15 nm a 3 kV (x30.000, WD = 5 mm, modo de alto vácuo)

Resolução da imagem BSE 4,0 nm a 30 kV (x60.000, WD = 5 mm, 6 Pa no modo de baixo vácuo)

Magnificação : ´5–´300,000
(As ampliações mais altas e mais baixas dependem da aceleração da tensão, da velocidade de varredura WDand)

(2) ElectronOptics

Fonte de feixe de elétrons : Filamento de cartucho pré-centrado (filamento de pino de cabelo de tungstênio)

Acelerando a tensão : 0,3 kV – 30 kV

Viés de arma: Viés do quadrante

Alinhamento do feixe Deflexão eletromagnética de 2 estágios (funciona como um blanqueamento de feixe quando uma imagem está congelada)

Sistema de lente: óptica de redução de lente eletromagnética de 3 estágios

Estigmatizador: X-Y octopole eletromagnético

Bobina de varredura : deflexão eletromagnética de 2 estágios

Abertura móvel objetivo: 4 buracos com design de stop de clique (30, 50, 80, 150 µm de diâmetro)

Deslocamento da imagem: ±50 µm ou maior em WD = 15 mm

Posição de análise DIP = 15 mm, TOA = 35°

Detectores: detector SE no modo de alto vácuo
Detector de BSE nos modos de alto e baixo vácuo

(3) Especiménio

(4) Sistema de evacuação

Controle de evacuação Sequência totalmente automática com válvulas de motor

Medidor de vácuo : medidor Pirani

Vácuo definitivo : 1,5 x 10^-3Pa

Gama de pressão ajustável: 6 – 270 Pa (somente modo de vácuo interno)

Bomba de vácuo:Bomba Molecular Turbo (TMP) 210l/s,´1 bomba rotativa de óleo 135 l / min. (50Hz), 162 l / min. (60Hz),´1

(5) exibição

Controle: Interface gráfica do usuário (GUI), menu em inglês

Sistema operacional: Microsoft^®janelas^®XP Profissional

Operação: Mouse / teclado, conjunto de botões rotativos (opção)

Monitor: 19 tipo LCD (1280)´1024 pixels na área de trabalho)

Modo de exibição da imagem Display em tela cheia (1280 ´960 pixels)
Exibição padrão (640)´480 pixels)
Display de imagem dupla (640 ´480 pixels)´2), mistura de sinal

Modo de digitalização TV/RÁPIDA

: Lento

Área reduzida (320)´240 pixels)

Forma de onda:

: tela dividida / dupla ampliação

Captura de imagem de alta definição (max. 2560 ´1920 pixels)

Captura de imagem de integração de quadro (max. 2560 ´1920 pixels)

Velocidade de digitalização : varredura de TV
(640´480 pixels, 25/30* quadros/s.)

: varredura rápida
(tela inteira: quadros 6,3/7,5*/s.)

: varredura lenta
(tela inteira: 1, 4, 20/16, 40/32, 80/64 * sec./quadro)
(640´480 pixels: 0,5, 2, 10/8, 20/16, 40/32*sec./quadro)

Scan de área reduzida
(320´240 pixels: 25/30,3/4* quadro/s.)
* Frequência da fonte de alimentação: 50/60Hz

Funções de ajuste automático

Brilho e contraste automático (ABCC)

Controle de foco automático (AFC)

: Estigmador automático e foco (ASF)

Saturação automática do filamento (AFS)

Alinhamento automático do feixe (ABA)

: Configuração automática do feixe (ABS)
(AFS + ABA + viés automático de arma)

Funções de processamento de sinal e imagem

Melhoria da relação S/N pela média (TV, varredura rápida)

Melhoria da relação S/N pela integração de pixels

Melhoria da relação S/N pela integração do quadro
(quadros máximos para integração: 1024) (TV, FAST, SLOW1)

Exibição de imagem bi-cor composta:
(Tempo real no modo de exibição de imagem dupla / Salvar imagem)

: Exibição de cor pseudo (Salvar imagem)

Processamento de imagem em tempo real
(Contraste inverso, controle Gamma)

: exibição do histograma em tempo real

Processamento de imagem para salvar imagem
(Contraste inverso, controle de gama, suavização, aprimoramento da borda, etc.)

Salvação de imagem Tamanho de salvação de imagem
(640´480 pixels, 1280 ´960 pixels, 25601920 pixels, 5120´3840 pixels)

Formato de arquivo de imagem: BMP, TIFF, JPEG

Imprimir imagem Função de impressão de layout livre em padrão

Gestão de salvar imagem

Gestor de dados:SEM (base de dados de imagem) em padrão
(Gestão de dados, exibição de miniatura, várias funções de processamento de imagem)

Outras funções Blaqueamento de feixe quando uma imagem está congelada.

Rotação: Raster

: Compensação de foco dinâmico / inclinação

Exibição de dados (número da imagem, aceleração da tensão, ampliação, marcador de mícrons, unidade, WD, data, hora, pressão, detector)
Visualização de dados selecionável entre com e sem imagem

:Entrada de dados[Figuras (círculo, retangular, seta, linha de medição), caracteres］

Função de medição fácil (distância entre 2 pontos e linhas de medição com seta)

Guia de manutenção de animação 3D

Transferência de imagem para Quartz Imaging PCI

Função do modo de raios-X : Terminais de sinal de entrada para medidor de taxa de raios X (0 - +10V) e mapeamento (TTL)

Modo de varredura (análise de linha, análise de ponto, análise de concentração média)

Interface: DBC (opção)

Porta de conexão para equipamentos externos

Interface: USB

Interface de rede (Ethernet), configuração está em opção.

Sinal VTR: apenas sinal preto e branco NTSC (BNC), uma imagem no modo de exibição padrão somente.

(6) Dispositivo de segurança

: Protegido contra falha de energia, corrente de vazamento e falha de vácuo.

(7) Dimensão e peso