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Shanghai Yifeng Precisão Instrumentos Co., Ltd.
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SuperView W1 Contrômetro óptico de superfície 3D

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Visão geral
SuperView W1 óptico 3D contorímetro de superfície Modelo do produto: SuperView W1 Nome do produto: óptico 3D contorímetro de superfície Sistema de imagem: 10241024 (20482048, 25921944 opcional) Zoom óptico: 1, (0,75, 0,5 opcional) Objetivo de interferência: 2,5, 5, 10, 20, 50 Plataforma XY: Dimensão 320200mm, curso 140110mm, Controle eletrônico Resolução horizontal XY: 0,4m curso do eixo Z: 100mm Resolução Z: 0,1nm Faixa de varredura Z única: 10,3mm, repetitividade de espessura 1nm Velocidade de varredura Z: 45m / s Altura da amostra medida: 100mm Reflexividade da amostra medida: 0,05% -100% Ajuste horizontal: 5 Rufusão RMS repetitividade: 0,005nm Medição de altura em etapas: Precisão <0,7%, repetitividade <0,1% 1 Características principais: Detecção sem danos, análise de um clique, rápida e eficiente
Detalhes do produto

Magnificação da lente

2.5×

10×

20×

50×

Diâmetro numérico

0.075

0.13

0.3

0.4

0.55

Ángulo da amostra mensurável

4.3°

7.5°

17.5°

23.5°

33.4°

Resolução óptica@550nmµm

3.7

2.1

0.92

0.69

0.5

Foco profundo (µm

48.6

16.2

3.04

1.71

0.9

Distância de trabalho (mm

10.3

9.3

7.4

4.7

3.4