Válvula de borboleta de vácuo VAT Suíça 61.3 - Válvula de controle em forma de borboleta

61.3 Válvula de controle de borboleta de alto vácuo oferece excelente desempenho de controle de pressão. Com o seu controlador de ação rápido e preciso (0,1 segundo), a válvula de controle borboleta 61.3 é a solução ideal para o controle fino em processos CVD e ALD. A placa de válvula pode atuar como um elemento de redução de fluxo, alterando as propriedades de condução de fluxo da abertura da válvula. 61.3 O controlador de pressão integrado da válvula de controle em forma de borboleta pode calcular a posição necessária da placa da válvula para alcançar a pressão definida o mais rápido possível.

Esta série de produtos é projetada para processos a jusante agressivos com partículas em fluxos de ar. Mesmo com cargas elevadas de partículas e detritos depositados devido ao projeto, a válvula de controle borboleta 61.3 permanece em funcionamento.

A série 61.3 demonstrou sua confiabilidade em milhares de aplicações exigentes em diversas condições de processo. Com um design robusto, opções de instalação direta e manutenção simples e fácil, a série 61.3 é convincente em todos os aspectos.

As várias opções de projeto em matéria de corpo da válvula, tratamento de superfície, elastómeros, conexões de flange, tamanhos especiais e algoritmos de controle especiais (adaptação, PI fixo a jusante / bombagem suave) simplificam a integração em diferentes aplicações de vácuo.