Válvula de vácuo VAT Suíça - Vácuo multi-válvula

Válvula de vácuo VAT Suíça - Vácuo multi-válvula

A VAT Suíça é um fabricante de válvulas de vácuo, focado no projeto e produção de válvulas de vácuo de alta precisão, os produtos são amplamente utilizados em semicondutores, fotovoltaicos, displays de placa plana, pesquisas científicas e outras áreas, conhecidos por sua alta confiabilidade, longa vida útil e desempenho de vedação.

1. Antecedentes da empresa

A VAT Suíça é um fabricante de válvulas de vácuo, focado no projeto e produção de válvulas de vácuo de alta precisão, os produtos são amplamente utilizados em semicondutores, fotovoltaicos, displays de placa plana, pesquisas científicas e outras áreas, conhecidos por sua alta confiabilidade, longa vida útil e desempenho de vedação.

2. Série de produtos principais

(1) Produtos de válvula única

• série modelo：

• Válvula angular(por exemplo, série VAT 54): aplicável a ambientes de alto vácuo (HV) e ultra-alto vácuo (UHV).

• Válvula direta(por exemplo, VAT Série 47): design de baixa resistência para bombeamento rápido de vácuo.

• Válvula de porta(ex. VAT Série 19): vedação metálica, resistência a altas temperaturas (até 450°C) para câmaras de processo de semicondutores.

• Válvula de regulaçãoControle preciso do fluxo de gás para a regulação da pressão do processo.

• parâmetros técnicos：

• Taxa de vazamento: <10-9 mbar·l/s (vedação metálica).

• Material: aço inoxidável, liga de alumínio, níquel ou polimento eletrólico.

• Modo de condução: pneumático, elétrico ou manual.

Sistemas de Válvulas Múltiplas (Multi-Valve Systems)

• Características do design：

• A integração de várias válvulas (por exemplo, válvulas de isolamento, válvulas de extração, válvulas de bomba principal) em um único módulo simplifica o layout do sistema de vácuo.

• Design modular com suporte a combinações personalizadas (por exemplo, VAT Lockfast) ® série).

• Resposta rápida (tempo de interrupção de até 50 ms).

• Aplicações típicas：

• Isolamento multicâmara para equipamentos de gravação/sedimentação de semicondutores.

• Alternação do caminho de vácuo do sistema de revestimento fotovoltaico.

Vantagens técnicas principais

• Tecnologia de vedação：

• As vedações metálicas (não elásticas) são adequadas para ambientes de alta temperatura e corrosivos.

• Vedações elásticas (como borracha fluorada) são usadas em aplicações econômicas.

• Sistema de condução：

• O atuador pneumático é equipado com design à prova de explosão e o atuador elétrico suporta o controle PLC.

• Controle inteligente：

• Suporta protocolos industriais como PROFINET e EtherCAT para monitorar o estado da válvula em tempo real.

Áreas típicas de aplicação

• Fabricação de semicondutores: Câmara de transferência de wafer, equipamento de gravação.

• Indústria fotovoltaicaIsolamento a vácuo de equipamentos PECVD e ALD.

• Equipamento de pesquisa científicaSincronização de fontes de radiação e aceleradores de partículas.

• Vácuo industrialMáquinas de revestimento, equipamentos de tratamento térmico.

5. Referências selecionadas

• Parâmetros-chave：

• Dimensões de diámetro (DN16 a DN400).

• Faixa de pressão (de pressão atmosférica a 10-10 mbar).

• Gases compatíveis (gases corrosivos/inertes).

• Normas de certificação：

• SEMI F47 (padrão de resistência à volatilidade de tensão para dispositivos semicondutores).

• Certificação CE/UL.

6. Serviço e suporte

• Oferece design personalizado, entrega rápida e suporte técnico global.

• Selecção auxiliar com ferramentas de configuração on-line, como o VAT Configurator.

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