Modelagem sem contato Taylor Hobson

TAYLOR HOBSON: O profilômetro sem contato CCI Lite utiliza o princípio de interferência CCI (Coherence Related Algorithm for Brickley Technology) para medir com alta precisão o perfil da superfície, a rugosidade da superfície, as dimensões 3D e 2D, a análise de detecção de defeitos de superfície e a geração de relatórios estatísticos

Profilômetro sem contato Taylor Hobson do Reino Unido: o profilômetro sem contato CCI Lite usa o princípio de interferência CCI (Algoritmo de Relação Coerente da Tecnologia Brickley), para medir com alta precisão o perfil da superfície, a rugosidade da superfície, as dimensões tridimensionais e bidimensionais, a análise de detecção de defeitos da superfície e a geração de relatórios estatísticos;

Modelagem sem contato da Taylor Hobson:

1. Base de amortiguação e colunas:

Base de alumínio fundidoCombinado com amortiguação flutuante de gás, melhora a estabilidade da medição e a precisão da repetição

Colunas de açoAumentar a robustez e a estabilidade do circuito de medição e reduzir o impacto das vibrações externas

2. Parâmetros do sistema

(1)Tipo de interferência:CCIInterferência, Taylor Hopson Brick Coerence Algoritmo Relacionado

(2)Medição:2.2mm(padrão), > 10mm é o uso de junção de dados

(3)Resolução:0.1 A

(4) RMSRepetibilidade:<0.02nm

(5)Velocidade de varredura vertical: 7 um/s

(6)Pontos de medição:1 1024 x 1024Pontos

(7) X YMedição única do eixo: 0,36 – 7,2 mm

(8) X YResolução do eixo:0.4-0.6um（

(9)Repetibilidade da altura dos degraus: > 0,1%

(10)Ruído do sistema:<0.08nm

(11)Tempo de medição: amostra típica 5-20 segundos

(12) Reflexividade da peça testada:0.3 –100%