Microscópio eletrônico de varredura de emissão de campo de ultra-alta resolução Regulus8100

A "Série Regulus" é a nova marca da Hitachi FE-SEM de alta tecnologia, incluindo o "Regulus 8100" desenvolvido como sucessor do SU8010 e a atualização da série SU8200 "Regulus 8220", "Regulus 8230" e "Regulus 8240", quatro modelos, todos com melhorias na resolução e operabilidade.

O microscópio eletrônico de varredura (SEM) é amplamente utilizado em nanotecnologia, semicondutores. Observação da estrutura de materiais em áreas como a indústria eletrônica, ciências da vida, ciências dos materiais, etc. Nos últimos anos, a pesquisa de novos tipos de materiais de carbono, materiais poliméricos, materiais compostos, etc., que são muito esperados em aplicações de dispositivos eletrônicos de nova geração, como tecnologia sólida para a ciência e a tecnologia avançadas, foi popularizada em todo o mundo. O microscópio eletrônico de varredura é amplamente utilizado para a observação desses materiais. Avaliação, mas apenas ter uma resolução ultra-alta não é suficiente. Também é necessária a observação da estrutura sutil da superfície e análise elementar de alta sensibilidade em baixas tensões de aceleração. Além disso, a estabilidade contínua e a confiabilidade do desempenho do eletroscópio são buscadas ao longo da pesquisa.

O novo sistema óptico eletrônico da marca "Série Regulus" foi otimizado para oferecer uma resolução de cerca de 20% maior na tensão de pouso de 1kV em comparação com a geração anterior. O "Regulus 8220/8230/8240" atinge a resolução de 0,9 nm e o "Regulus 8100" a 1,1 nm. Além disso, a arma eletrônica de campo frio, ideal para observações de alta resolução em baixas tensões de aceleração, amplia os detalhes da amostra e obtém imagens de alta qualidade. A magnificação máxima também foi aumentada de 1 milhão de vezes para 2 milhões de vezes.
Além disso, para melhor lidar com o teste e manutenção de amostras diferentes e desempenhar alto desempenho, a capacidade de auxílio do usuário também foi aprimorada, como funções de auxílio operacional do sistema de detecção de sinal, funções de auxílio de manutenção, etc.

Características principais

1. Pistola eletrônica de campo frio com diferença de cor mínima para observações de alta resolução de baixa aceleração

2. Aproximadamente 20% maior resolução em comparação com a geração anterior
   (Regulus 8220/8230/8240: 0,9 nm/1 kV, Regulus 8100: 1,1 nm/1 kV)

3. Magnificação máxima aumentada de 1 milhão de vezes para 2 milhões de vezes^*1

4. Funcionalidades de acessibilidade para ajudar os usuários a aproveitar o alto desempenho do seu instrumento

Parâmetros principais

*1 Apenas Regulus8240/8230/8220

*2 Observação do modo de redução

*3 Magnificação da imagem para o campo de visão de 127 mm x 95 mm

*4 Motor de 5 eixos opcional