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Sala 1209,1210,2609, Yulehui E, Wangjing Garden, Chaoyang, Pequim
Pequim Aventis Tecnologia Co., Ltd.
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Sala 1209,1210,2609, Yulehui E, Wangjing Garden, Chaoyang, Pequim
A espectrometria interna de vácuo requer dois dispositivos de supervácuo com fibras ópticas de 200 micrômetros e 600 micrômetros de diâmetro, respectivamente, e uma sonda de reflexão dentro da sala de vácuo, uma fonte de luz combinada de deuterium e tungstênio ao ar livre e um espectrómetro AvaSpec para montar um conjunto de dispositivos de medição de vácuo.

Monitoramento de revestimento Monitoramento de plasma Monitoramento de plasma
AvaSpec—Vacuum
Espectrómetro |
AvaSpec-ULS2048CL-EVO |
Raster UA (200-1100nm), Fenda de 50 μm OSC-UA, DCL-UV/VIS-200 |
Fonte de Luz |
AvaLight-DH-S-BAL |
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fibra óptica |
FCR-7UV200-2-ME FC-UVIR200-2-ME |
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Acessórios |
FC-VFT-UVIR200 FC-VFT-UVIR600 |