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Quarto L02, 1º andar, edifício 5, número 3, estrada Yaojia, Liangxi, Distrito de Yuhang, Hangzhou
Hangzhou Shuiquan Equipamento de vácuo Co., Ltd.
Quarto L02, 1º andar, edifício 5, número 3, estrada Yaojia, Liangxi, Distrito de Yuhang, Hangzhou
Bomba de raizes WAUModelo principal e parâmetros técnicos
Bomba de raizes WAUVantagens técnicas
1 – Eficiência energética
O design de refrigeração a ar não requer água de resfriamento externa e o consumo de energia é 40% menor do que a bomba de resfriamento a água convencional
Compatibilidade com variação de velocidade (por exemplo, aceleração WAU 251 para 4200 rpm), adaptabilidade a condições de trabalho aumentada em 50%
2, sem vedação de óleo
O motor enlatado isola a poluição do óleo lubrificante para atender aos requisitos de processo de alta pureza, como semicondutores e revestimentos fotovoltaicos
As vedações de borracha fluorada são resistentes a gases com oxigênio/corrosivos (por exemplo, gases de gravação em processos CVD)
3 – Manutenção modular
Isolamento da caixa de engrenagens e da cavidade da bomba, lubrificante livre de meio e ciclo de substituição prolongado até 4.000 horas
Alternação rápida vertical/horizontal para poupar espaço no layout do dispositivo
Manutenção e prevenção de falhas
1) Manutenção obrigatória
Substituição de rolamentos e vedações mecânicas por 2000 horas de funcionamento com lubrificante LVO 100/210 original
Limpar a cavidade da bomba com 5% ácido-alcalino, desativar o molidor de partículas
2 Proibição de operação
Diferenças de pressão contínuas > 100 mbar podem causar deformação do rotor por sobreaquecimento (sensor de pressão interbloqueado é necessário)
Tempo de abertura da válvula de desvio ≤3 minutos para evitar a sobrecarga do motor
3 Opções de atualização
Rolamentos de suspensão magnética adicionais: redução de 40% das perdas mecânicas e ciclos de manutenção excedentes de 8.000 horas