Sonda modular de conversão de temperatura XYZ

A série de sondas de mini-mesa de vácuo HCP421V-MPS Instec é uma sonda de mesa que pode ser pontuada a partir de uma sonda móvel externa e abrange vários modelos e variações de temperatura. Também permite o controle de temperatura, testes elétricos de sonda, observação óptica e controle ambiental do gás da amostra. A tampa da sonda e a carcaça da sonda formam uma cavidade de vedação a vácuo e podem ser enchidas com gases protetores como o nitrogênio para evitar que a amostra congele a temperaturas negativas ou se oxide a altas temperaturas.

Sonda modular de conversão de temperatura XYZCaracterísticas

Proba de controle de temperatura mime para integração em vários dispositivos ópticos

Temperatura programável, abrangendo -190 ℃ ~ 400 ℃

Aplicável a wafers e dispositivos de 10 mm a 26 mm

Câmara a vácuo, também pode ser carregada para uso de gás protetor

Quatro sondas independentes para mover a sonda do lado externo do equipamento,

Design modular para combinação livre

* Atualização para 8 sondas independentes

Pode ser controlado a partir de um termocontrolador ou software de computador, com SDK de software disponível

Conector SMA virar BNC quatro sondas, agulha manual

Modulação XYZParâmetros de controle de temperatura da sonda de conversão de temperatura

Faixa de temperatura -190 ℃ ~ 400 ℃ (temperatura negativa requer refrigeração de nitrogênio líquido)

Bloco de aquecimento Prata

Sensor/Controle de temperatura

Taxa máxima de aquecimento 100Ω Platinum RTD/PID (com redução de ruído LVDC)

30 ℃ / min

Velocidade mínima de controle de temperatura ± 0,01 ℃ / min

Resolução de temperatura 0,01 ℃ Sensor RTD

Estabilidade de temperatura ± 0,05 ℃ (> 25 ℃), ± 0,1 ℃ (< 25 ℃)

Função do software Pode configurar a taxa de controle de temperatura, pode configurar o programa de controle de temperatura, pode gravar a curva de controle de temperatura

Parâmetros Elétricos

Sonda Sonda de agulha curva padrão para o material de tungstênio de rénio

Braço de sonda móvel do suporte XYZ externo

A pontilha move a pontilha do lado externo e cada suporte de sonda pode pontilhar em qualquer lugar na área da amostra

A interface da sonda é padrão para o conector SMA para BNC

* Coluna de ligação interna da cavidade pode ser adicionada (cabo de ligação da amostra)

Potencial da mesa da amostra A terra elétrica padrão, suspensão elétrica opcional (como eletrodo traseiro), interface coaxial triaxial opcional

Parâmetros ópticos

Caminho de luz aplicável Caminho de luz refletida

Folhas removíveis e substituíveis

Distância mínima de trabalho do objetivo 8/12 mm (opcional)*WD na imagem

Visão da janela da tampa superior da janela da janela da gama φ45mm, ângulo máximo de visão ± 50 ° * θ1 na seção

Descongelamento de janelas a temperatura negativa Tubo de descongelamento de sopro

Parâmetros estruturais

Diâmetro da amostra aplicável 26 mm (padrão)

Altura da cavidade da amostra 4/8 mm (opcional)

Braço de sonda móvel do suporte XYZ externo

Modo grueso + modo de ajuste, XY grueso 20mm

XY corte de ajuste 10mm, Z ajuste 3mm

Precisão de regulação 10um

Câmara de vácuo de controle atmosférico, também pode ser carregada com gás de proteção

O resfriamento da carcaça é possível através da água circulante para manter a temperatura da carcaça perto da temperatura normal

Tamanho da mesa / peso 300 mm x 300 mm x 40 mm / 4kg

Lista de configuração

Configuração básica Sonda de mesa de vácuo, termocontrolador mK2000B

Suporte de montagem, sistema de refrigeração de nitrogênio líquido, sistema de refrigeração de água circulante da carcaça, lente de microscópico, mesa à prova de choques, sistema de vácuo, medidor de fonte de teste, BNC triaxial, suspensão elétrica de mesa, cabo de alimentação da amostra

Aplicações típicas

Teste de propriedades elétricas para caracterização de dispositivos de filmes finas, materiais bidimensionais, nanomateriais e materiais moleculares/orgânicos

Necessita de aquecimento bloco de superfície de terra, coaxial BNC interface, coaxial BNC interface de três

Sondas que requerem sondas de tungstênio, rénio, berílio e cobre ou outros materiais

É necessário mover a sonda XYZ do corpo externo da mesa.

Teste de wafers, dispositivos semicondutores, circuitos integrados, placas de circuitos impressos, placas fotovoltaicas, LCD/LED

Medição das características IV e CV, tensão de ruptura, corrente de vazamento, resistência, constante dielétrica e eficiência do diodo

Outros modelos opcionais na faixa de temperatura HCP402V-MPS

TP102V-MPS Faixa de temperatura -40 ℃ ~ 180 ℃, área da amostra, 40mm * 40mm

HCP421V-MPS gama de temperatura -190 ℃ ~ 400 ℃, área de amostra

Φ26mm-190 ℃ ~ 400 ℃, área da amostra 50mm * 50mm

HP1000G-MPS gama de temperatura 35 ℃ ~ 1000 ℃, área de amostra 25mm * 25mm, câmara hermética

Modelo personalizado Personalizado de acordo com as necessidades do cliente, com uma amostra de wafer de 300 mm máxima