Metro de vácuo composto capacitivo de tecnologia domínio

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O Capacitive Composite Vacuometer (PILANI) da Domain Technology combina a tecnologia de sensores de película fina de cerâmica capacitiva com as vantagens dos sensores PILANI em um único produto, com alta precisão e amplo alcance.

Detalhes do produto

Metro de vácuo composto capacitivo de tecnologia domínio(Pilani)

Metro de vácuo composto capacitivo PilaniCombina a tecnologia de sensores de película fina de cerâmica capacitiva com os benefícios dos sensores de pira em um único produto, com alta precisão e amplo alcance.

Alcance de medição3.8×10^-5Voltarpara1500 TorrO segmento de vácuo grosso usa sensores de película capacitiva cerâmica para medir com alta precisão e independentemente do tipo de gás. Utilização de segmentos de vácuo elevadosMEMSSensores Pilani. É adequado para medição de intervalos de vácuo neutro e grosso, e é amplamente utilizado no controle de autobloqueio, circuito de segurança do sistema, medição de pressão de vácuo pré-pré e medição e controle de pressão precisos. É a pressão controlada dentro da faixa de vácuo médio e grosso em busca de relação custo-benefíciobomEscolha.

Vantagens

1.Sensores de pressão compostos

lAlta precisão(10Torr-1500Torr)Menos do que a leitura0.5%),Não tem a ver com a composição do gás.

lLarga escala(3.8×10－5Torrpara1500Tor (em inglês)

2.Alta relação custo-benefício

3.Enriquecimento do sinal de saída

lFácil de integrar e rica em interfaces para atender a diversas necessidades de integração de sistemas

lIndependente.Tipo CDiagnóstico, depuração e configuração de interfaces

4.Função de saída de gatilho de pressão

5.Exibição de tela em tempo real de pressão

Metro de vácuo composto capacitivo de tecnologia domínio(Pilani)

Parâmetros técnicos

Indicadores	Especificações
Alcance de medição	3.8×10^-5Torr para 1500 Torr
precisão	3.8×10^-5 - 1×10^-⁴Leitura de Torr ±50% @ calibração de nitrogênio/ar; 1×10^-4- Precisão de 20 Torr ±15% @ calibração de nitrogênio/ar; 0,05 - 10Torr Precisão ±10% @ independente do tipo de gás (opcional); 10 - 1500 Torr Precisão ± 0,5% @ independente do tipo de gás (opcional);
Resolução	0,001% FS
Opções de temperatura interna do dispositivo	Algoritmo de compensação de temperatura não estático
Tempo de pré-aquecimento	10 minutos.
Temperatura ambiente	0para40℃
Função de acionamento	Apoio
Saída	Configurável0-10VDC saída analógica, > 10K ohms; Saída RS422 (RS485 opcional)
Conectores elétricos	FCC68 8 pinos(Opcional)D-Sub de 9 pinos); M8, 5 pés, tomada furada
Alimentação de entrada	9 ~ 36VDC;3 W
Limitação de sobrepressão	2000 Torr
Materiais expostos a gases de processo	316LCerâmica, óxido de alumínio, silício, dióxido de silício, nitreto de silício, alumínio, vidro, ouro, borracha
Tempo de resposta do sensor	≥20Torr por 25 ms; < 20 Torr em 50 ms
Direção de calibração	Qualquer direção
Volume interno	11 ml (sem interface de amostragem)

Métro de vácuo PilanibaseadoPrincípio de condução térmicamedindo a taxa de dissipação de calor do fio de aquecimento no ambiente de vácuo (com a densidade molecular do gás/Alterações de resistência ou temperatura causadas por mudanças de pressão) permitem medições indiretas da pressão de vácuo.

Hangzhou Domínio Tecnologia Co., Ltd.Concentrado em fornecer serviços e soluções tecnológicas relacionadas com fluxo, pressão, detecção e controle de vácuo para clientes industriais e de pesquisa, a empresa distribui nos EUAALICAT、 Marcas como a Vogtlin Suíça, a MKS dos EUA e a EBARA do Japão combinam os produtos da agência para fornecer aos clientes soluções de monitoramento de fluxo e pressão de alta qualidade, projetadas para melhorar a eficiência de pesquisa e desenvolvimento e produção dos clientes, melhorar os processos de fabricação dos clientes e promover a pesquisa científica e a inovação dos clientes.

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