Método de vácuo de película metálica capacitiva

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O vácuômetro de película metálica capacitiva de tecnologia doméstica (tipo de temperação) usa um projeto de capacitação diferencial de dois eletrodos unilaterais, e todos os materiais expostos a gases de processo são ligas Inconel / Incoloy.

Detalhes do produto

Método de vácuo de película metálica capacitiva(Tipo de aquecimento)

O vácuômetro de película metálica capacitiva de tipo temperador usa um design de capacitação diferencial de dois eletrodos unilaterais, todos os materiais expostos a gases de processo sãoInconel / IncoloyLiga, circuito frontal de alta sensibilidade e algoritmo * para garantir alta sensibilidade e precisão de medição sob pressão de trabalho, resposta rápida, desempenho estável, resistência à corrosão, algoritmo único de compensação de temperatura ajuda a estabilização rápida do produto. Oferecer1Torrpara1000 TorrGama de escala completa com baixo custo e alto desempenhoCaracterísticasPara ambientes de produção e processamento difíceis, como a indústria de revestimentos, semicondutores e aplicações de plasma，Para eleFornecer um desempenho estável.

Vantagens

1.Sensor de isolamento de tensão capacitivo diferencial de película metálica com compensação de temperatura

lAltamente sensível

lAlta precisão e repetibilidade

lAlta estabilidade a longo prazo

lAcesso rápido ao estado de trabalho

2.Todos os sensores são robustos e resistentes à corrosãoInconel合金

lSem dependência de gás, resultados de medição independentes da composição do gás

lPermitido para uso com gases corrosivos ou sujos

lO material do vácuometer não contamina o processo

3.Enriquecimento do sinal de saída

lFácil de integrar e rica em interfaces para atender a diversas necessidades de integração de sistemas

lIndependente.Tipo CDiagnóstico, depuração e configuração de interfaces

4.Função de saída de gatilho de pressão

lSinal de acionamento da pressão de saída através do relé

Método de vácuo de película metálica capacitiva(Tipo de aquecimento)

Parâmetros técnicos

Indicadores	Especificações
Escala completa	1Torr, 10Torr, 100Torr, 1000Torr，定制
precisão	±0,5% de leitura
Resolução	0,001% FS
Coeficiente de temperatura zero% de alcance total / ℃	0.015%
Coeficiente de temperatura de medição% de leitura / ℃	0.02%
Alcance de leitura recomendado	0.005V para 10V@FS
Recomendação de controle de pressão	0.05V para 10V@FS
Opções de temperatura interna do dispositivo	Algoritmo de compensação de temperatura não estático
Tempo de pré-aquecimento	30 minutos.
Temperatura ambiente	0para40℃
Função de acionamento	ApoioInterruptor duplo de duas vias, distribuição pode ser configurada0,1% ~ 100% FS pressão arbitrária, capacidade do relé 0.6A@30VDC
Função de saída de falha	Opcional, falhas de termostato e falhas de equipamento de saída através de relés
Saída	0-10VDC saída analógica, > 10K ohms; Saída RS422 (RS485 opcional)
Conectores elétricos	D-Sub， 15 pés, tomada em forma de agulha; Conexão M8,7Socket de pé, furo
Alimentação de entrada	± 15VDC (± 5%), 24VDC (± 5%) ou 20 ~ 26VDC;5W
Limitação de sobrepressão	45Psia
Materiais expostos a gases de processo	ModelagemMateriais 316L, o resto são ligas Inconel e Incoloy
Tempo de resposta do sensor	2Cinco milisegundos.
Direção de calibração	Calibração vertical padrão, calibração horizontal opcional
Volume interno	5,1 ml (sem interface de amostragem)

Hangzhou Domínio Tecnologia Co., Ltd.Concentrada em fornecer serviços técnicos e soluções relacionadas com fluxo, pressão, detecção de vácuo e controle para clientes industriais e de pesquisa científica, a empresa distribui marcas como ALICAT, Vogtlin, MKS, EBARA, EUA e Suíça, combinando os produtos da agência para fornecer aos clientes soluções de monitoramento de fluxo e pressão de alta qualidade, com o objetivo de melhorar a eficiência de pesquisa e desenvolvimento e produção dos clientes, melhorar os processos de fabricação dos clientes, promover a pesquisa científica e o progresso da inovação dos clientes.

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