Método de vácuo de película metálica capacitiva

Método de vácuo de película metálica capacitiva(Tipo de alta temperatura)

O vácuômetro de película metálica capacitiva de alta temperatura usa um design de capacitação diferencial de dois eletrodos unilaterais, todos os materiais expostos a gases de processo sãoInconel / IncoloyLiga, circuito frontal de alta sensibilidade e algoritmo * que garante alta sensibilidade e precisão de medição sob pressão de trabalho, resposta rápida, desempenho estável e forte resistência à corrosão, fornecendo150℃para200℃Duas versões de alta temperatura melhoram significativamente o efeito da substância sedimentar sobre a membrana capacitiva, fornecendo1Torrpara1000 TorrGama completa com excelente desempenho para semicondutores exigentes、PlasmaePurificação de materiais de alto riscoÁrea, sim.Ideal para medição e controle precisos da pressão total.

Vantagens

1.Sensor de alta temperatura de alta tensão capacitiva de película metálica

lAltamente sensível

lAlta precisão e repetibilidade

lAlta estabilidade a longo prazo

2.Todos os sensores são robustos e resistentes à corrosãoInconel合金

lSem dependência de gás, resultados de medição independentes da composição do gás

lPermitido para uso com gases corrosivos ou sujos

lO material do vácuometer não contamina o processo

3.Enriquecimento do sinal de saída

lFácil de integrar e rica em interfaces para atender a diversas necessidades de integração de sistemas

lIndependente.Tipo CDiagnóstico, depuração e configuração de interfaces

4.Função de saída de falha/Função de saída de gatilho de pressão

lSaída por relé: falhas de termostato e falhas de equipamento/Sinal de acionamento de pressão

Método de vácuo de película metálica capacitiva(Tipo de alta temperatura)

Parâmetros técnicos

Indicadores	Especificações
Escala completa	1Torr, 10Torr, 100Torr, 1000Torr，定制
precisão	±0,5% de leitura
Resolução	0,001% FS
Alcance de leitura recomendado	0.005V para 10V@FS
Recomendação de controle de pressão	0.05V para 10V@FS
Opções de temperatura interna do dispositivo	150℃，200℃
Tempo de pré-aquecimento	4 horas
Temperatura ambiente	15 até50℃
Função de acionamento	Opcional, interruptor duplo de duas vias, distribuição pode ser configurada0,1% ~ 100% FS pressão arbitrária, capacidade do relé 0.6A@30VDC
Função de saída de falha	Opcional, falhas de termostato e falhas de equipamento de saída através de relés
Saída	0-10VDC saída analógica, > 10K ohms; Saída RS422 (RS485 opcional)
Conectores elétricos	D-Sub， 15 pés, tomada em forma de agulha; M8, 5 pés, tomada furada
Alimentação de entrada	± 15VDC (± 5%), 24VDC (± 5%) ou 20 ~ 26VDC; Pico50W@150℃，70W@200℃
Limitação de sobrepressão	45Psia
Materiais expostos a gases de processo	ModelagemMateriais 316L, o resto são ligas Inconel e Incoloy
Tempo de resposta do sensor	50 milissegundos.
Direção de calibração	Calibração vertical padrão, calibração horizontal opcional
Volume interno	5,1 ml (sem interface de amostragem)

Hangzhou Domínio Tecnologia Co., Ltd.Concentrado em fornecer serviços e soluções tecnológicas relacionadas com fluxo, pressão, detecção e controle de vácuo para clientes industriais e de pesquisa, a empresa distribui nos EUAALICAT、 Marcas como a Vogtlin Suíça, a MKS dos EUA e a EBARA do Japão combinam os produtos da agência para fornecer aos clientes soluções de monitoramento de fluxo e pressão de alta qualidade, projetadas para melhorar a eficiência de pesquisa e desenvolvimento e produção dos clientes, melhorar os processos de fabricação dos clientes e promover a pesquisa científica e a inovação dos clientes.