Método de vácuo de película metálica capacitiva

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O vácuômetro de película metálica capacitiva de tecnologia doméstica (tipo aquecido) usa um projeto de capacitação diferencial de dois eletrodos unilaterais, e todos os materiais expostos a gases de processo são ligas Inconel / Incoloy.

Detalhes do produto

Método de vácuo de película metálica capacitiva（Tipo de aquecimento）

O vácuômetro de película fina de metal capacitivo aquecido usa um design de capacitação diferencial de dois eletrodos unilaterais, todos os materiais expostos a gases de processo sãoInconel / IncoloyLiga, circuito frontal de alta sensibilidade e algoritmo * que garante alta sensibilidade e precisão de medição sob pressão de trabalho, resposta rápida, desempenho estável e forte resistência à corrosão, fornecendo de45℃para120℃Várias versões termostatas,0.1Torrpara1000 TorrA gama completa de escalas com excelente desempenho é ideal para medição e controle precisos da pressão total de semicondutores e plasmas exigentes, purificação de materiais de alto risco, etc.

O DMG100A série de sensores de pressão possui funções de saída de relé para falhas de termostato e falhas de equipamento.

Vantagens

1.Sensor de tensão isolante de capacitor diferencial de película metálica termostática

lAlta sensibilidade

lAlta precisão e repetibilidade

lAlta estabilidade a longo prazo

2.Todos os sensores são robustos e resistentes à corrosãoInconel合金

lSem dependência de gás, resultados de medição independentes da composição do gás

lPermitido para uso com gases corrosivos ou sujos

lO material do vácuometer não contamina o processo

3. Enriquecimento do sinal de saída

lFácil de integrar e rica em interfaces para atender a diversas necessidades de integração de sistemas

lIndependente.Tipo CDiagnóstico, depuração e configuração de interfaces

4.Função de saída de falha/Função de saída de gatilho de pressão

lSaída por relé: falhas de termostato e falhas de equipamento/Sinal de acionamento de pressão

Método de vácuo de película metálica capacitiva（Tipo de aquecimento）

Parâmetros técnicos

Indicadores	Especificações
Escala completa	0.1Torr，1Torr，10Torr，100Torr，1000 Torr
precisão	≥1Torr ± 0,25%As leituras,1Torr ± 0,50%Leituras
Resolução	0,001% FS
Alcance de leitura recomendado	0.005V para 10V@FS
Recomendação de controle de pressão	0.05V para 10V@FS
Opções de temperatura interna do dispositivo	45℃，80℃，100℃
Tempo de pré-aquecimento	2hora≥1Torr；4Horas <1Torr
Temperatura ambiente	15para40℃@45℃Termostato interno
Função de acionamento	Opcional, interruptor duplo de duas vias, distribuição pode ser configurada0,1% ~ 100% FSPressão arbitrária, capacidade do relé0.6A@30VDC
Função de saída de falha	Opcional, falhas de termostato e falhas de equipamento de saída através de relés
Saída	0-10VDCSaída analógica,10 quilômetrosOum;do RS422Saída (do RS485Opcional)
Conectores elétricos	D-Sub，15pés, tomadas de agulha;O M8Navegação,5Socket de pé, furo
Alimentação de entrada	±15VDC（±5%), e24 Vdc（±5%ou20 ~ 26VDC;Pico40W@100 ℃，35W@45 ℃
Limitação de sobrepressão	45Psia
Materiais expostos a gases de processo	Modelagem316Lmateriais, o restoInconeleIncoloy合金
Tempo de resposta do sensor	≥1Torr 25milisegundos;1Torr 50Milisegundos
Direção de calibração	Calibração vertical padrão, calibração horizontal opcional
Volume interno	5,1 ml(Não inclui interface de amostragem)

Hangzhou Domínio Tecnologia Co., Ltd.Concentrado em fornecer serviços e soluções tecnológicas relacionadas com fluxo, pressão, detecção e controle de vácuo para clientes industriais e de pesquisa, a empresa distribui nos EUAALICAT、 Marcas como a Vogtlin Suíça, a MKS dos EUA e a EBARA do Japão combinam os produtos da agência para fornecer aos clientes soluções de monitoramento de fluxo e pressão de alta qualidade, projetadas para melhorar a eficiência de pesquisa e desenvolvimento e produção dos clientes, melhorar os processos de fabricação dos clientes e promover a pesquisa científica e a inovação dos clientes.

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