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Agilent Technologies (China) Co., Ltd
Espectrofotômetro Agilent: "motor óptico" para testar o desempenho dos componentes ópticos da fotogravura
Datas:2025-10-29Leia:0
À medida que os nós de processamento avançados avançam, a gravura a laser paramolecular ArF de 193nm ganha importância na fabricação de semicondutores. Seu interior contém uma grande quantidade de componentes ópticos de alta precisão, como lentes de projeção, placas de máscara, polarizadores, desviadores, espelhos, etc., as propriedades ópticas desses componentes determinam diretamente a resolução, a uniformidade e a eficiência do padrão do chip.
Como avaliar com precisão a permeabilidade, a refletidão, a resposta polarizada e a dependência angular desses componentes durante o desenvolvimento e a produção em massa?Os espectrómetros de infravermelho próximo UV visíveis da série Cary4000/5000/6000i/7000 da Agilent são a solução ideal para esse desafio.
Aqui estão os componentes ópticos comuns em gravadoras de luz e suas necessidades de teste:
Teste de permeabilidade para lentes, janelas, máscaras, etc.
Teste de refletidão de 45° para espelhos
Teste da relação de dissipação de polarizadores e retropolarizadores
Estes projetos de teste e requisitos exigem a capacidade de teste do espectrofotômetro, a dificuldade de teste é principalmente refletida em:
193 nm pertencem à região do ultravioleta profundo (DUV), onde pequenas mudanças ambientais e poluição da amostra podem afetar a absorção da luz nessa faixa, o processo de teste exige maior estabilidade do dispositivo.
Pequenos erros nos indicadores como a taxa de transmissão, a taxa de reflexão e a razão de extinção de luz dos componentes fotográficos podem levar a distorção do padrão ou falhas de processo, portanto, a precisão e a repetibilidade do equipamento de teste são exigidas.
Os testes de grande ângulo de 193 nm exigem a introdução de polarizadores, mas os materiais polarizadores nessa faixa são caros, difíceis de processar e vulneráveis à poluição.
A Agilent Cary4000/5000/6000i/7000 ultravioleta é equipada com uma fonte de luz de deutério que cobre uma faixa de comprimentos de onda de até 175 nm, equipada com um detector de tubo fotoelétrico multiplicador (PMT) para garantir respostas ultra-altas em bandas baixas; Ao mesmo tempo, o instrumento usa um design de feixe duplo para corrigir a flutuação da fonte de luz e a interferência ambiental em tempo real, melhorando efetivamente a repetitividade e a precisão dos testes; Além disso, os usuários podem personalizar acessórios de polarização ultravioleta profunda com aplicações de acessórios UMA para medição de reflexos e medição de relações de dissipação de luz sob polarização s/p de grande ângulo.
Imagem à esquerda: Agilent Cary4000/5000/6000i/7000
Imagem à direita: Agilent Cary7000
Capacidade de teste do espectrómetro de infravermelho próximo visível ultravioleta da série Cary da Agilent em bandas baixas:
Placa de quartzo de teste do anfitrião: 190-270 nm, 0° de transmissão, 10 medições repetidas.
Em 10 testes a 193 nm, a diferença máxima-mínima foi de 0,02% T.
Hospedagem de teste de quartzo com 0° de permeabilidade 10 resultados repetitivos
Acessórios totalmente automáticos de transmissibilidade e refletidão absoluta (UMA) multiangular com espelho de alumínio de teste polarizador ultravioleta personalizado: 190-380 nm, refletidão absoluta de 45°.
Em grandes ângulos, Rp e Rs têm uma boa relação de sinal-ruído a 193 nm.
Espelho de alumínio de teste de acessórios UMA com resultados de reflexão absoluta de 45°
Hoje em dia, com processos avançados em constante evolução, os testes de desempenho de componentes ópticos passaram de "opcionais" para "ligações críticas".Os espectrofotômetros da série Cary4000/5000/6000i/7000 da Agilent, com suas características de alta precisão, eficiência e funcionalidade completa, apoiam o desenvolvimento de colas fotográficas, a seleção de componentes ópticos, a avaliação do envelhecimento dos materiais e a verificação da consistência do revestimento, etc., desempenham um papel importante na análise de medição de alta precisão para ajudar os engenheiros a localizar rapidamente os problemas, otimizar o processo, melhorar a eficiência e ajudar o processo fotográfico a avançar para níveis mais altos.À medida que a tecnologia de fabricação de semicondutores continua a evoluir, a necessidade de análise de medição de componentes ópticos será cada vez mais sofisticada, e a série Cary da Agilent continuará a fornecer um sólido suporte técnico para esse processo.