1. vazamento de vácuo
Fenômeno: o vácuo não atinge o valor definido ou diminui continuamente.
Razão:
O anel de vedação está envelhecido, quebrado ou mal instalado.
As conexões de tubulação estão soltas ou existem pequenas rachaduras.
As paredes da câmara de vácuo apresentam defeitos de agulha ou solda.
Resolução:
Verifique regularmente o anel de vedação, substituído a cada 6-12 meses.
Use um espectrômetro de massa de hélio para localizar o ponto de vazamento, que precisa ser detectado novamente após a reparação.
Teste de pressão na câmara de vácuo.
2. Descanso da camada de membrana
Fenômeno: a camada de revestimento posterior é separada do substrato ou descascada em pedaços.
Razão:
Poluição da superfície do subsolo (poluição por óleo, vapor de água, poeira).
Não foi cocido adequadamente antes do revestimento.
A tensão da membrana é excessiva.
Resolução:
Fortalecer a limpeza da base.
Instalar a fonte de íons para limpeza pré-bombardeio.
Otimizar parâmetros de processo.
A bomba de vácuo não pode ser iniciada
Fenômeno: a bomba não reage após pressionar o botão de inicialização.
Razão:
Falha de energia (tensão instável, curto-circuito de linha).
Proteção contra danos ao motor ou sobreaquecimento.
Poluição ou insuficiência de óleo na bomba.
Resolução:
Verifique a estabilidade da linha de alimentação e da tensão.
Troque o motor ou espere que o corpo da bomba se arrefeca.
Troque o óleo de vácuo regularmente para manter o nível do óleo acima da linha de escala.
4 - O vácuo cai repentinamente
Fenômeno: queda abrupta do vácuo durante a operação e impossibilidade de manter os requisitos do processo.
Razão:
falha da bomba.
Poluição interna da sala de vácuo.
O fluxo insuficiente de água de resfriamento leva ao sobreaquecimento do corpo da bomba.
Resolução:
Limpe a bomba de difusão anualmente e substitua o óleo especial.
定期清理真空室。
Verifique o circuito de água de resfriamento para garantir o fluxo ≥5L/min.
5. material de deposição desigual
Fenômeno: A espessura da camada de membrana ou a distribuição dos componentes é inconsistente no fundo.
Razão:
Deslocamento da fonte de sedimento ou instabilidade da velocidade de rotação do crucel.
A base não é fixada ou está bloqueada.
A interferência de campo magnético/campo elétrico provoca desvios de fluxo.
Resolução:
Ajuste a posição da fonte de sedimento para garantir o alinhamento com o centro da base.
Fixe a base com fixações de ferramentas para evitar bloqueios.
Verifique os parâmetros da bobina eletromagnética para otimizar a trajetória do feixe.
6. falha no controle da espessura da película
Fenômeno: a espessura real da membrana e o desvio do valor definido excedem ± 5%.
Razão:
A calibração do cristalímetro (espessura de membrana) falhou.
A posição da sonda está desviada ou contaminada.
Os parâmetros do processo flutuam (por exemplo, a taxa de evaporação é instável).
Resolução:
Calibre o controlador trimestralmente com uma espessura de membrana padrão.
Limpe a superfície da sonda e ajuste a distância da base de 5-10 cm.
Estabilize a tensão de alimentação para evitar mutações nos parâmetros durante a evaporação.
Poluição de gás causa queda de membrana
Fenômeno: perfuração da agulha, mancha ou diminuição da adesão na camada da membrana.
Razão:
A câmara de vácuo não é totalmente exagerada (vapor de água residual, oxigênio).
vazamento de ar durante o processo de revestimento.
A membrana absorve umidade ou contém impurezas.
Resolução:
Pumpar o vácuo até ≤ 5 × 10-4Pa antes do revestimento e cozer a desgasificação.
Verifique todas as interfaces de vedação e substitua as vedações envelhecidas.
O gás deve ser pré-fundido na câmara de vácuo antes de ser usado.
8. falha do sistema de aquecimento
Fenômeno: a temperatura da base não pode atingir o valor definido ou flutuação excessiva.
Razão:
Componentes de aquecimento quebrados ou mal contactados.
Os parâmetros PID do termocontrolador estão configurados incorretamente.
Deslocamento ou danos na posição do termopar.
Resolução:
Verifique a conexão do fio de aquecimento e substitua o componente de interrupção.
Reajuste os parâmetros do termostato.
Ajuste o termopar para a posição central da base e calibre uma vez por ano.
Falha do sistema de controle eletrônico
Fenômeno: o painel de operação não responde ou os parâmetros mostram anomalias.
Razão:
A placa de controle está molhada ou se acumula poeira.
A conexão do sensor está solta ou danificada.
O programa de software entrou em colapso.
Resolução:
Limpe regularmente o armário de controle com ar comprimido seco.
Verifique a linha do sensor e substitua os componentes defeituosos.
Reiniciar o sistema ou reinstalar o software de controle.
10. Fio / sistema de fluxo anormal
Fenômeno: saída sem fluxo de feixe ou grande flutuação do fluxo de feixe.
Razão:
Fios queimados ou envelhecimento.
O limiter de fluxo de feixe não está a zero ou o potenciador falha.
Curto-circuito de proteção do eletrodo de alta tensão.
Resolução:
Troque o novo fio para assegurar a posição no centro durante a instalação.
Reiniciar o limiter de fluxo após a pré-fusão.
Verifique o isolamento da tampa de proteção e limpe os pontos de curto-circuito.