Aqui está o guia de manutenção do revestimento de pulverização de magnetrônio de RF:

Manutenção do sistema de vácuo

Verifique o estado de funcionamento da bomba de vácuo: verifique regularmente o estado de funcionamento da bomba de vácuo, incluindo se o nível do óleo está normal. Se a quantidade de óleo for insuficiente ou a qualidade do óleo deteriorar (por exemplo, cor escura, turbidez, etc.), o óleo novo deve ser adicionado oportunamente ou substituído pelo óleo de bomba envelhecido. Ao mesmo tempo, observe se a bomba de vácuo tem sons ou vibrações anormais durante a operação e, uma vez que isso ocorrer, deve ser verificado imediatamente e resolvido.

Limpeza de filtros e tubos: Para evitar que obstruções afetem a eficiência da bomba de vácuo, limpe regularmente o filtro da bomba de vácuo e as impurezas e poeira dentro dos tubos de conexão. Isso ajuda a manter um bom efeito de aspiração a vácuo e garante a pureza do ambiente de revestimento.

Detecção de vedação: Verifique regularmente a vedação da câmara de vácuo para garantir que não haja vazamentos. Isso pode ser verificado por meio de testes de vedação, por exemplo, observando a estabilidade das leituras do vácuo após o fechamento de todas as válvulas. Para os pontos de vazamento encontrados, tomar medidas oportunas para reparar, como substituir aneis de vedação danificados.

2. fonte de evaporação do revestimento de pulverização de magnetrônio de RF e manutenção da fonte de pulverização

Verifique o estado de funcionamento dos componentes: verifique regularmente componentes críticos como componentes de aquecimento, alvos e sistemas de refrigeração das fontes de evaporação e pulverização. Verifique se o elemento de aquecimento está intacto e se pode ser aquecido normalmente; Se o alvo tem desgaste, rachaduras, etc.; A bomba de água, o radiador, etc. do sistema de resfriamento estão funcionando corretamente. Para componentes danificados ou gravemente envelhecidos, devem ser substituídos oportunamente para garantir o funcionamento correto do equipamento.

Limpeza de impurezas circundantes: remoção oportuna de impurezas e resíduos em torno de fontes de evaporação e pulverização, evitando que se misturem no filme, afetando assim a taxa de crescimento e a qualidade do filme. É possível limpar e limpar com um pano limpo ou uma ferramenta especial.

Manutenção do sistema de controle

Calibrar a precisão dos sensores: Calibrar regularmente vários sensores no sistema de controle, como sensores de temperatura, sensores de pressão, etc., para garantir a precisão e a sensibilidade de seus dados de medição. Sensores imprecisos podem causar descontrole dos parâmetros do processo e, por sua vez, afetar o efeito do revestimento.

Teste de resposta do atuador: Verifique se a velocidade e a precisão de resposta do atuador estão em conformidade com os requisitos para garantir que ele execute as instruções de controle com precisão. Verifique, por exemplo, se as válvulas motorizadas podem ser abertas ou fechadas com rapidez e precisão no local especificado.

Programas de backup de dados: Para evitar perda de dados ou danos ao programa, os dados e programas do sistema de controle devem ser backups regularmente. Desta forma, em caso de emergência, é possível restaurar rapidamente a configuração normal e o modo de funcionamento do dispositivo.

4. Manutenção do sistema de refrigeração do revestimento de pulverização de magnetrônio de RF

Monitoramento do funcionamento da bomba: assegure-se de que a bomba do sistema de arrefecimento funcione corretamente e que haja fluxo suficiente de água através de cada área de refrigeração. Se a bomba falhar, pode causar sobreaquecimento do equipamento e danificar outros componentes críticos.

Limpar a sujeira do radiador: Limpe regularmente as impurezas e sujeiras da superfície do radiador para melhorar a eficiência de dissipação de calor. Ao mesmo tempo, verifique se há obstruções no tubo para garantir que o líquido de refrigeração circule suavemente.

Substituição de refrigerante: Preste atenção à qualidade do refrigerante e às mudanças no nível da água, substitua o refrigerante envelhecido a tempo e suplemente o refrigerante novo suficiente. Uma baixa qualidade ou quantidade insuficiente de refrigerante pode afetar o efeito de dissipação de calor, aumentando o risco de falha do equipamento.

Manutenção do sistema de admissão de ar

Garantir a pureza e a estabilidade do gás: Verifique regularmente a pureza e a estabilidade da fonte de gás para evitar que as impurezas entrem no interior do equipamento. Os gases de reação impuros podem reagir adversamente com o material de revestimento, reduzindo a qualidade do filme.

Calibração do medidor de fluxo: Verifique regularmente a precisão e a estabilidade do medidor de fluxo e do medidor de pressão do sistema de gás de admissão para garantir o controle preciso do fluxo e da pressão do gás de reação. Isso é essencial para obter a estrutura e o desempenho ideais da película fina.

Limpeza de válvulas de tubos: Limpe regularmente os tubos e válvulas do sistema de admissão de ar para evitar problemas de bloqueio e vazamento causados ​​por poeira, poluição de óleo, etc. Manter o sistema de admissão sem obstáculos ajuda a manter um ambiente de processo estável.

6. manutenção do dispositivo de fixação da placa de base do revestimento de pulverização de magnetrônio de RF

Estabilidade do fixador: Verifique se o fixador no dispositivo de fixação do substrato está firme e confiável para garantir que o substrato não se solte ou caia durante o processo de revestimento. Os substratos soltos podem resultar em espessuras desiguais da película fina ou diminuição da adesão.

Ajustar a lubrificação para a planejamento do guia: Verifique a planejamento e a lubrificação do guia e, se necessário, ajuste e adicione o óleo lubrificante para garantir que o substrato se movimente suavemente. Os guias irregulares ou carentes de lubrificação aumentam a resistência ao movimento do substrato, afetando a uniformidade do revestimento.

Verifique a precisão da transmissão do motor: Verifique regularmente o estado de funcionamento do motor e a precisão do mecanismo de transmissão para garantir que a trajetória do movimento do substrato seja precisa. O controle preciso do movimento é uma das principais garantias para obter revestimentos de alta qualidade.