O carbonizador de evaporação térmica de alto vácuo tem dois modos de trabalho principais de evaporação contínua e evaporação de pulso, cujo projeto é projetado para atender às diferentes necessidades de processo através do controle preciso do processo de evaporação, especificamente como segue:

1, vaporização térmica de alto vácuo carbonizador modo de evaporação contínua

1. Princípio:

A fonte de carbono, como fibra de carbono de alta pureza ou barra de carbono, é aquecida a uma potência constante para que ela continue a derreter e a evaporar de forma estável, formando um fluxo uniforme de vapor dentro da câmara de vácuo. Os átomos ou moléculas de carbono gaseosos se espalham em movimento linear até a superfície da base, condensando camada por camada em uma película densa de estado sólido. Este modelo depende de um sistema de controle de temperatura de circuito fechado para manter a taxa de evaporação constante, com flutuações de potência controladas dentro de ± 1%.

2. Características:

Eficiência e estabilidade: adequado para grandes volumes de revestimento ou cenários que exigem uma membrana rápida, como a preparação de camadas condutoras de amostras SEM.

A camada de membrana é uniforme: o fluxo de vapor cobre continuamente a base, reduzindo as diferenças de espessura local e garantindo a consistência da camada de membrana.

Simplificação do processo: não é necessário iniciar ou parar frequentemente a fonte de aquecimento, o processo operacional é mais simples.

3. Cenário de aplicação:

Prepare a membrana de suporte TEM para transportar fatias ultrafinas ou nanopartículas.

Análise de superfície como uma camada protetora ou condutora (por exemplo, análise EDS de espectroscopia de raios X).

Necessidades de revestimento em lote no setor industrial (por exemplo, camadas condutoras de componentes eletrônicos).

II, vaporização térmica de alto vácuo carbonizador modo de evaporação de pulso

1. Princípio:

O aquecimento intermitente controla a evaporação da fonte de carbono através de sinais de pulso. Durante cada ciclo de pulso, a fonte de carbono se aquece rapidamente até a temperatura de evaporação e libera as partículas gaseosas, depois de interromper o aquecimento para que as partículas da superfície do fundo se depositem completamente. Controle com precisão a espessura da camada de membrana e o tamanho das partículas ajustando a frequência de pulso e a proporção de ocupação.

2. Características:

Regulação fina: adequado para preparar uma estrutura de carbono ultrafina ou de nanoescala, a precisão de controle da espessura da membrana pode chegar a nanoescala.

Redução dos danos térmicos: o aquecimento intermitente reduz a subida da temperatura do substrato e evita o efeito de altas temperaturas sobre materiais sensíveis.

Refinação de partículas: a evaporação pulsada reduz a colisão de partículas gaseosas para formar partículas de camada de membrana mais pequenas.

3. Cenário de aplicação:

A otimização das características da superfície da amostra na análise EBSD requer sinais de reforço de membrana de carbono de alta resolução.

O revestimento de amostras celulares no campo biomédico requer efeitos térmicos mínimos.

O revestimento de componentes ópticos (como a película antirreflexo) requer um controle preciso das propriedades ópticas da camada de membrana.

Terceiro, a base de escolha do modelo de carbonizador de evaporação térmica de alto vácuo

Necessidades de espessura da camada de membrana:

O modo contínuo é adequado para preparar camadas de membrana mais espessas (por exemplo, níveis de μm) com maior eficiência.

O modo de pulso é adequado para camadas de película ultrafina (por exemplo, níveis nm) com maior precisão.

2. Características do material de base:

Os materiais resistentes a altas temperaturas (como metais) podem ser usados em modo contínuo opcional para reduzir o tempo de processo.

Os materiais sensíveis ao calor (como polímeros, amostras biológicas) precisam de um padrão de pulso para evitar deformações.

Complexidade do processo:

Tarefas simples de revestimento, como camadas condutoras, simplificam a operação com o modo contínuo.

Necessidades de alta precisão, como nanoestruturas, permitem um controle fino com o modo de pulso.

Função de suporte do equipamento de carbonizador de evaporação térmica de alto vácuo

1. sistema de vácuo: combinação de bomba turbomolecular + bomba giratória, vácuo limite, vácuo de trabalho para garantir que o processo de evaporação seja livre de poluição.

Gestão de fontes de evaporação: 4 fontes de evaporação de fibra de carbono de alta pureza podem trabalhar alternadamente para detectar automaticamente o estado de interrupção e prolongar a vida útil.

3. controle de mesa de amostra: suporte para rotação manual / automática, alta velocidade / baixa velocidade de duas velocidades ajustáveis, para alcançar a deposição uniforme de vários ângulos.

Proteção de segurança: proteção de vácuo, proteção contra sobrecorrente, proteção contra sobretensão, etc., para evitar danos ao equipamento em condições de trabalho anormais.