O revestimento do pulverizador de íons totalmente automático é uniforme e condutivo, graças à sua tecnologia de pulverização magnetrônica, sistema de controle de precisão e capacidade de seleção de múltiplos alvos, com as seguintes vantagens específicas:

Tecnologia de pulverização magnetrônica para garantir a uniformidade do revestimento

1. Design de otimização do campo magnético: melhorando a uniformidade da densidade do plasma ajustando a forma do ímã, a disposição ou o campo magnético, para que a taxa de pulverização seja consistente em diferentes locais da superfície alvo, melhorando assim a uniformidade da camada de membrana. Por exemplo, a otimização da distância entre o alvo e o substrato evita a acumulação desigual de partículas de pulverização e garante a espessura uniforme da película.

Ajuste dinâmico da distância alvo-base: os experimentos mostraram que, com o aumento da distância alvo-substrato, o valor da diferença de espessura da membrana em diferentes pontos do substrato diminui gradualmente e a uniformidade melhora significativamente. Esta característica permite que o pulverizador de íons se adapte a amostras de diferentes tamanhos e formas para obter revestimentos de alta precisão.

3. potência de pulverização e controle de vácuo: aumentar a potência de pulverização pode expandir a área brilhante da superfície alvo, tornando a densidade de potência mais uniforme; Aumentar o vácuo pode reduzir a probabilidade de colisão entre os átomos de pulverização e os átomos de gás dentro da câmara, otimizando ainda mais a uniformidade da espessura da membrana. Este mecanismo de duplo controle garante a estabilidade da qualidade do revestimento.

Sistema de controle de precisão de pulverizador de íons totalmente automático para melhorar a condutividade elétrica

Tecnologia de controle de corrente constante: Adotando uma fonte de energia de pulverização DC magnetrônica de alta precisão, a precisão de controle pode chegar a 1mA para garantir a estabilidade da corrente de pulverização. Essa saída de corrente estável ajuda a formar um revestimento metálico denso que melhora a condutividade da amostra.

Regulação precisa do ambiente de vácuo: alcançar rapidamente o ambiente de vácuo de trabalho (vácuo limite < 1Pa) através de uma bomba de vácuo rotativa de alto desempenho e equipado com um vácuômetro Pilani de gama completa para monitorar o nível de vácuo em tempo real. Esse controle de vácuo preciso reduz o impacto das impurezas no revestimento e melhora a condutividade elétrica.

Controle de partículas de pulverização de nível nanométrico: as partículas de pulverização podem atingir o nível nanométrico (<5nm), a película fina preparada é densa e uniforme. Este revestimento de nanoescala não só oferece excelente condutividade elétrica, mas também atende às necessidades de observações SEM de alta resolução.

Terceiro, a seleção de múltiplos alvos do pulverizador de íons totalmente automático para atender às necessidades diversificadas

1. suporte ao alvo de metais preciosos: o pulverizador de íons suporta uma variedade de alvos de metais preciosos como ouro, platina, prata e paládio. Esses alvos possuem boa condutividade elétrica e estabilidade química e são capazes de atender às necessidades de materiais de revestimento de diferentes amostras.

Comodidade de substituição do alvo: a cabeça do alvo é composta por anel de blindagem, anel de pressão e alvo, ao substituir o alvo, basta girar o anel de blindagem e o parafuso do anel de pressão para remover facilmente o alvo antigo e instalar o novo alvo. Esta maneira conveniente de substituir alvos aumenta a flexibilidade e a eficiência do uso do equipamento.

IV. Verificação do efeito da aplicação prática do pulverizador de íons totalmente automático

Otimização da observação com eletroscópio de varredura: na observação com eletroscópio de varredura (SEM), o pulverizador iônico é capaz de fornecer um revestimento uniforme e de boa condutividade para amostras não condutoras. Isso evita efetivamente a geração de efeitos de carga elétrica, tornando a imagem do eletroscópio mais clara e detalhada.

Suporte de imagem de alta magnificação: para amostras que precisam de imagem de alta magnificação, o pulverizador iônico pode fornecer camadas metálicas condutoras delicadas e uniformes. Isso ajuda a obter observações e imagens a maiores taxas, melhorando a precisão e confiabilidade dos experimentos.