Falha do sistema de alimentação

Fenômeno: nenhuma reação do equipamento, flutuação anormal da tensão de corrente

Etapas de diagnóstico:

Verifique se o cabo de alimentação, a ficha e a conexão da tomada estão firmes e teste a estabilidade da tensão de saída com o multimetro.

Detecta o circuito interno do módulo de alimentação para verificar se o fusível está derretido ou se a indução capacitiva está envelhecendo.

Solução:

Conecte novamente os componentes soltos e substitua o cabo de alimentação ou a tomada danificada.

Repare ou substitua o módulo de alimentação para garantir que a saída de tensão atenda às especificações do dispositivo.

Falha do sistema de vácuo

Fenômeno: insuficiência de vácuo, prolongamento do tempo de bombeamento

Etapas de diagnóstico:

Use um detector de vazamento de hélio para localizar o ponto de vazamento do tubo de vácuo, anel de vedação ou corpo da bomba.

Verifique o nível e a qualidade do óleo da bomba de vácuo para ver se há ruído anormal ou sobreaquecimento no corpo da bomba.

Solução:

Troque o anel de vedação envelhecido e solte a interface da flanja.

Limpar ou substituir o óleo da bomba de vácuo para corrigir falhas mecânicas no corpo da bomba.

Processo de pulverização anormal

Fenômeno: alvo não brilhante, espessura de película desigual

Etapas de diagnóstico:

Verifique se a instalação do alvo é vertical e se a superfície possui camadas de óxido ou poluentes.

Medir a resistência de isolamento entre alvo e linha de terra para excluir o risco de curto-circuito.

Monitore a curva de tensão/corrente de pulverização para determinar se há descarga de arco ou mudança de padrão.

Solução:

Reinstale o alvo e ajuste o espaço para limpar a superfície com isopropanol.

Reparar conexões de terra e aumentar a junta de isolamento.

Otimizar os parâmetros de correspondência de energia para inibir a descarga de arco.

Falha do sistema de controle de gás

Fenômeno: fluxo de gás instável, distúrbio da proporção de gás de reação

Etapas de diagnóstico:

Verifique o estado de calibração do medidor de fluxo de massa para ver se a válvula está vazando.

Analise a composição do gás residual para verificar a infiltração de gases externos.

Solução:

Recalibre o MFC e substitua a válvula de vazamento.

Otimize o layout da via de gás e aumente o dispositivo de purificação de gás.

Estratégia de manutenção sistemática

Manutenção diária

Limpeza e manutenção:

Limpe a carcaça do dispositivo diariamente com um pano sem poeira para evitar a acumulação de poeira.

Limpe o interior da sala de pulverização semanalmente para remover os resíduos do alvo com um solvente especial.

Monitoramento de parâmetros:

Registre parâmetros-chave como o vácuo, a tensão/corrente de pulverização e crie gráficos de análise de tendências.

Verifique regularmente o nível e a temperatura do refrigerante para garantir que o sistema de refrigeração funcione corretamente.

Reparações Periódicas

Sistema elétrico:

Verifique se o cabo de alimentação e o conector da placa de controle estão oxidados e segure o parafuso solto.

Teste a estabilidade da saída de alta tensão e substitua o capacitor envelhecido.

Peças mecânicas:

Lubrifique os componentes rotativos da bomba de vácuo e substitua os cintos ou rolamentos desgastados.

Verifique a flexibilidade do mecanismo de rotação do alvo para remover os objetos estranhos bloqueados.

Sistema de vácuo:

Troque o anel de vedação da câmara de vácuo.

Limpe a parede interna do tubo de vácuo para remover os sedimentos.

Manutenção preventiva

Gestão de Consumíveis:

Estabeleça um mecanismo de alerta precoce de estoque de consumíveis, como alvos e anéis de vedação, para evitar paradas causadas por peças ausentes.

Preferir alvos com forte capacidade antienvenenamento.

Controle Ambiental:

Mantenha a estabilidade da temperatura e umidade do laboratório para reduzir o risco de condensação do equipamento.

Instale um piso anti-estático para evitar que os componentes elétricos sejam quebrados pela eletricidade estática.

III. Observações essenciais

Operações seguras:

Antes da manutenção, a fonte de energia deve ser desconectada e a capacidade de alta tensão deve ser liberada.

Use luvas anti-corte para tratar o alvo e evitar arranhões em detritos metálicos.

Backup de dados:

Faça backup regularmente dos parâmetros do software de controle do dispositivo para evitar que falhas do sistema causem perda de processo.

Apoio profissional:

As falhas complexas exigem que o engenheiro de fábrica seja contactado para reparar, evitando que a desmontagem não autorizada cause a invalidação da garantia.