Como ferramenta analítica avançada no campo da ciência dos materiais,Com o seu design modular e a sua interface de operação inteligente, os eletrôscopos de varredura ZEISS EVO oferecem aos pesquisadores soluções de processo completo, desde imagens básicas até análises complexas.Neste artigo, o sistema combina seus processos operacionais com os principais pontos técnicos.

　　Preparação e auto-inspeção do equipamento

Os parâmetros ambientais devem ser confirmados antes da inicialização do eletroscópio de varredura ZEISS: temperatura controlada entre 20 e 24 °C, umidade abaixo de 65% e alimentação UPS normal. Os operadores devem usar luvas antiestáticas para evitar contaminar amostras ou danificar componentes eletrônicos. Depois de ligar o interruptor de ar traseiro do host, pressione os botões Standby e On, seguidamente, e o sistema entra no processo de auto-inspeção. Neste momento, é necessário observar o estado de funcionamento da bomba de vácuo para garantir que a bomba mecânica e a bomba molecular sejam iniciadas normalmente e a leitura do medidor de vácuo caia gradualmente para abaixo de 1,3 x 10-4 mbar.

　　Carregamento de amostras e configuração de parâmetros

Após liberar o vácuo da câmara de amostras através da válvula de inflável, a mesa de amostras fixada com cola condutora é carregada no suporte de cinco eixos com pinças de anel. Para amostras não condutoras, o tratamento com revestimento de ouro ou carbono é necessário com antecedência para eliminar o efeito da carga elétrica. Para configurar a tensão acelerada (EHT) no software SmartSEM, as amostras condutoras recomendam 10-30kV e as amostras não condutoras utilizam um modo de baixa tensão de 1-5kV com tecnologia de redução de feixe de eletrônicos. A distância de trabalho (WD) é normalmente definida em 8,5 mm, o que afeta diretamente a resolução da imagem e a intensidade do sinal.

　　Selecção e otimização de modelos de imagem

A série EVO é equipada com o sistema de lentes OptiBeam e suporta cinco mudanças de modo de observação:

Modo SE de alto vácuo: uso de detector eletrônico secundário (SE2) para obter informações de perfil da superfície, aplicável a amostras condutoras de metais, cerâmicas e outros;

Modo eletrônico de dispersão posterior (BSD): distinguir as diferenças de composição do material pelo contraste do número atômico, frequentemente usado para análise de materiais compostos;

Modo de baixo vácuo: amostras de água ou poluição podem ser observadas sem injeção de ouro, o vácuo pode ser mantido até 20-260Pa;

Modo de redução do feixe de eletrões: reduzir a energia de pouso eficaz através da aplicação de tensão de desvio, melhorando significativamente a qualidade de imagem de amostras não condutoras.

A operação requer movimentos combinados com o suporte de controle de barra de oscilação, com foco gradual usando a janela Reduce para obter imagens de resolução sub-nanométrica com multiplicadores de ampliação de 100.000 vezes.

　　Operações integradas de análise espectral de energia (EDS)

Depois de conectar o espectrômetro Oxford Inca X-Act, crie um arquivo de projeto no software AZtec e selecione os modos de varredura de ponto, varredura de linha ou varredura de superfície. O número de vezes que a varredura de superfície é necessária é definido, e o sistema gera automaticamente um gráfico de distribuição de elementos e um relatório de percentagem de massa. Os dados experimentais mostram que a taxa de contagem de saída pode ser mantida estávelmente acima de 1000cps a uma distância de trabalho de 8,5 mm para garantir a precisão dos dados.

　　Manutenção e Gestão de Dados

Depois de concluir a análise, pressione Shutdown Gun para desligar o fio e desligue o software SmartSEM, o servidor EM e a fonte de alimentação do host. Depois de 30 minutos de resfriamento do sistema, desligue o interruptor de ar e registre o registro de funcionamento do dispositivo. Os dados brutos devem ser marcados em condições experimentais e associados entre dispositivos com o software ZEN Core, proporcionando uma cadeia completa de rastreamento para análises posteriores.

Os eletróscopos de varredução da ZEISS reduzem a complexidade da operação dos eletróscopos tradicionais em mais de 60% com câmeras de navegação inteligentes e fluxos de trabalho automatizados. Sua arquitetura modular suporta aplicações multicenários, desde a pesquisa científica básica até a inspeção de qualidade industrial, fornecendo soluções eficientes e confiáveis para a caracterização de materiais.