O Sensofar S neox oferece uma cobertura de medição completa, desde superfícies lisas a nível sub-nanométrico até estruturas ásperas a nível milimétrico, através da comutação perfeita das tecnologias de sobreposição de superfícies cofocal, interferência e multifocal.
A tecnologia de confocalização filtra a luz não focada através de um orifício de agulha para obter imagens bidimensionais de alto contraste e construir um perfil 3D após digitalização vertical. Com uma resolução horizontal de até 0,10 μm, o modelo oferece uma inclinação de medição de até 70° para superfícies lisas e 86° para superfícies ásperas com uma lente de 150 vezes e 0,95 de abertura numérica e uma repetibilidade de medição estável no eixo Z a nível nanométrico. É adequado para o reconhecimento de pequenas linhas, fendas e outras estruturas finas, como a detecção de formas de linhas em chips semicondutores.
O modo de interferência de luz branca e deslocamento de fase é otimizado para diferentes superfícies de suavidade: interferência de luz branca com resolução longitudinal de 0,1 nm, adaptada a superfícies ligeiramente rugosas; O deslocamento de fase interfere com a precisão da escala nanométrica de Dayan, projetado para superfícies ultra-lisas, e ambos não são afetados por multiplicadores de ampliação. A tecnologia de sobreposição de superfície multifocal focaliza superfícies rugosas, com uma profundidade de varredura única de 8 mm, para atender às necessidades de medição de estruturas complexas, como moldes e peças de fabricação aditiva.
A mudança desses modos é feita automaticamente por meio de um motor óptico inteligente, com apenas um clique do usuário e o sistema seleciona a tecnologia adequada com base nas características da tarefa de medição. Alternar automaticamente para a interferência de deslocamento de fase, por exemplo, ao medir a superfície ultralisa de uma lente óptica; Inicie o modo de sobreposição multifocal ao detectar a estrutura áspera do molde.
Tabela de adaptação de padrão técnico
Quando usado, o usuário não precisa avaliar manualmente a adequação do padrão, o software recomenda automaticamente as características da superfície da imagem de visualização ou seleciona manualmente em Configurações Avançadas. O projeto melhora significativamente a capacidade de adaptação do equipamento a diferentes amostras, cobrindo as necessidades de medição de vários setores, como eletrônica, automóvel e médico.