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Beijing Yingsitao Technology Co., Ltd
A seleção do alvo do pulverizador de íons está associada à qualidade do revestimento
Datas:2025-12-13Leia:1
Pulverizador de íonsDeposição de película fina de nível atômico por bombardeio de íons de alta energia na superfície do alvo. A escolha do alvo determina diretamente as propriedades físicas e químicas do revestimento, levando em consideração as propriedades do material, os parâmetros do processo e as necessidades da aplicação.
Tipo de alvo e combinação de desempenho
Alvos metálicos (como Au, Al, Cr): adequados para cenários com elevados requisitos de condutividade, como embalagens eletrônicas e membranas reflectoras ópticas.
Alvos de liga (por exemplo, NiCr, TiAl): a dureza do revestimento (por exemplo, dureza do revestimento TiAlN > 25 GPa) ou a antioxidação podem ser otimizadas através da regulação dos componentes.
Alvos de cerâmica (como SiO₂, ZrO₂): para camadas isolantes ou revestimentos resistentes ao desgaste, mas note que sua fragilidade pode levar a uma redução da eficiência de pulverização.
Efeito dos parâmetros do alvo na qualidade do revestimento
Requisitos de pureza: alvos de alta pureza (≥99,99%) podem reduzir a introdução de impurezas, como o teor de ouro do alvo de ouro no campo dos semicondutores > 99,999%.
Microestrutura: o alvo de estrutura cristalina de coluna pode facilmente levar à concentração de tensão do revestimento, enquanto o alvo de grão fino (tamanho de grão < 1 μm) pode melhorar a adesão.
Taxa de pulverização: a taxa de pulverização de diferentes materiais difere significativamente (por exemplo, Al> Cu> Ti), e a taxa de sedimentação deve ser equilibrada através do ajuste de potência.
Aplicações típicas
Biosensores: Escolha um alvo de ouro de alta pureza (Au≥99,999%) para garantir a condutividade elétrica e a biocompatibilidade do revestimento.
Óptica: Preparação de uma película antirreflexo com alvo SiO₂ para otimizar a taxa de refração ajustando a pressão do ar de pulverização (0,5-1 Pa).
Revestimento resistente ao desgaste: O alvo TiN é combinado com a pulverização de pressão parcial de pulso para formar um revestimento denso de nanocristais na superfície da ferramenta.
Estratégia de seleção de alvo
Controle de custos: a escolha prioritária de materiais alternativos rentáveis (por exemplo, substituir Ag por Al para camadas condutoras temporárias).
Compatibilidade do processo: o alvo resistente ao calor (como Mo, W) deve ser escolhido durante a pulverização a alta temperatura para evitar a deformação do amortiguamento do alvo.
Considerações ambientais: eliminação gradual de alvos com chumbo, cádmio e outros elementos perigosos, em conformidade com os padrões RoHS.