Em áreas industriais de precisão como a fabricação de semicondutores, revestimentos ópticos e materiais de nova energia, o controle preciso da espessura da película fina determina diretamente o desempenho do produto.Com mais de duas décadas de acumulação tecnológica, a Daimei Instrument Technology Services (Shanghai) Co., Ltd. construiu um sistema de medição de espessura de película fina que cobre os três principais caminhos tecnológicos de contato mecânico, interferência óptica e reflexão espectral, fornecendo soluções de cenário completo para a indústria, desde a pesquisa e o desenvolvimento de laboratório até a medição da linha de produção.

　　Medição por contato mecânico: "percepção táctil" com precisão em nanoescala

Para cenários como revestimento metálico e revestimento rígido, a Daimi usa escalómetros de alta precisão. Seu componente central é a sonda de ponta de agulha de diamante, que registra a subida e a flutuação da sonda em microns na superfície da camada de membrana através de um sensor de deslocamento vertical. Por exemplo, na medição da camada dourada da estrutura de fio semicondutor, o dispositivo pode capturar com precisão a mudança de espessura da escada de 50 nm a 10 μm com uma velocidade de varredura de 0,1 mm / s e um intervalo de amostragem de 0,1 μm, combinado com o controle da força de contato de 0,1-10 mN. Esta tecnologia elimina os erros de desgaste da sonda através da calibração multiponto, alcançando uma precisão repetitiva de ± 0,05 μm na inspeção de revestimento de conectores eletrônicos de automóveis.

　　Medição óptica interferente: a "revolução transparente" na decodificação de ondas de luz

Para camadas de membrana transparente como lentes ópticas e filtros, a Daimi implanta uma linha de tecnologia dupla de interferômetro de luz branca e elipsómetro. O interferômetro de luz branca usa uma fonte de luz de banda larga de 200-1000nm para calcular a espessura da membrana através da análise do desenho de interferência de luz refletida. Na produção de lentes de telefone móvel com revestimento AR, o dispositivo é varrido com ângulo de entrada de 75 °, combinado com o modelo Cauchy, que pode completar a medição de matriz de 5 x 5 pontos em 3 segundos, com um valor CV uniforme de ≤ 1,5%. O elipômetro obtém com precisão a refração e a espessura do filme ultrafino de 1-500 nm através da análise de diferença de fase de polarização de p / s, para alcançar o controle de nível ± 0,1 nm na preparação da camada luminosa OLED.

　　Medição espectral reflexiva: penetra a "chave espectral" opaca

Para materiais opacos como wafers de silício semicondutores, fotogravura espessa e outros, a Daimi lançou a série FilmetricsF3-sX de refletores espectrais. O dispositivo usa luz infravermelha próxima de 980-1550nm para quebrar a estrutura interna da fotogravura SU-8 de 3 mm de espessura, medindo a modulação de fase do espectro refletido. No teste de espessura de wafer de 8 polegadas, a mancha de diâmetro de 10 μm penetra na camada de membrana opaca, combinando o modelo Tauc-Lorentz para mapear a distribuição de espessura de toda a placa em 0,5 segundo, com desvio repetitivo de < 0,3 μm. Seu sistema de diagnóstico incorporado também monitora a tensão da camada de membrana em tempo real, fornecendo suporte de dados para a otimização do processo.

Desde a "percepção táctil" da sonda de contato até a "análise de penetração" da reflexão espectral, os instrumentos Daimi rompem as fronteiras da medição com uma matriz de múltiplas tecnologias. Seus equipamentos não só passaram pela certificação ISO 17025, mas também se integraram mais profundamente no ciclo fechado de produção em massa de semicondutores, fotoeletricidade e novas energias, e escreveram um novo capítulo da fabricação de precisão na China em uma "linguagem de espessura" precisa.