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No. 9996, Rua Jeusong, Distrito de Jiekai, Hefei, província de Anhui
Hefei Zhongguang Electronic Technology Co., Ltd
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O aparelho fotográfico é o equipamento central no processo de fotogravura, o seu papel central é a "sombra latente" (invisível ao olho nu) formada após a exposição da superfície da fotogravura do wafer, transformada por efeitos químicos em gráficos de circuito fino claramente visíveis, é a ligação de "exposição" e "gravação" na fabricação de chips de semicondutores e na produção de componentes eletrônicos de precisão.
O fluxo de trabalho da imagem pode ser simplificado em três etapas: primeiro, a transferência do wafer exposto para a câmara de imagem; Em seguida, por meio de pulverização ou mergulho, o líquido de exibição é uniformemente aplicado à superfície do wafer, dissolvendo seletivamente a fotogravura não exposta (cola positiva) ou exposta (cola negativa), para que a sombra apareça; Finalmente, após a limpeza, remover o líquido de exibição residual, secar e curar, formando uma base gráfica de circuito estável.
Suas estruturas principais incluem o sistema de transporte (para garantir a transmissão suave e precisa do wafer), o sistema de visualização (para controlar a temperatura, a concentração e o tempo de ação do líquido de visualização), o sistema de limpeza e secagem (para melhorar a estabilidade gráfica) e o sistema de controle (para permitir a regulação precisa e automatizada). À medida que os processos de chip avançam para 3nm e abaixo, os aparelhos de vídeo estão se desenvolvendo em direção a uma maior precisão, eficiência e inteligência, fornecendo suporte central para a miniaturização e alta densidade da indústria de semicondutores.