O medidor de espessura de membrana é um instrumento que usa princípios como óptica, eletricidade ou raios para medir com precisão a espessura de uma película fina ou revestimento e é amplamente utilizado em semicondutores, óptica, ciência de materiais, biomédica e proteção ambiental.
O princípio central do medidor de espessura da membrana é baseado na interferência e reflexão da luz. Quando as ondas de luz são irradiadas para a camada de membrana a ser testada, parte das ondas de luz é refletida na superfície da camada de membrana, parte penetra na camada de membrana e é refletida na interface da camada de membrana com a base. Estas duas partes refletem ondas de luz devido à diferença de distância de luz para produzir fenômenos de interferência, formando um padrão de interferência. A análise do gráfico de interferência permite obter informações sobre a diferença de fase das ondas de luz e, em seguida, calcular com precisão a espessura da camada de membrana através de relações matemáticas. Este método tem as vantagens de não contato, alta precisão, sem danos, e a precisão da medição pode atingir o nível nanométrico.
Função do medidor de espessura da membrana:
Fabricação de semicondutores: o desempenho dos dispositivos semicondutores está intimamente relacionado com a espessura das camadas finas internas. Os medidores de espessura de membrana permitem medições de alta precisão e monitoramento em tempo real de camadas finas, como camadas de óxido de porta e interconexão metálica, proporcionando uma garantia de qualidade confiável para os fabricantes de semicondutores.
Película óptica: a espessura da película óptica tem um efeito importante sobre suas propriedades ópticas. O medidor de espessura da membrana mede com precisão a espessura de filmes penetrantes, reflexivos e filtros para garantir que eles alcancem funções ópticas específicas.
Ciência dos materiais: o medidor de espessura da película ajuda os pesquisadores a entender o mecanismo de crescimento, a estrutura e o desempenho da película fina, fornecendo uma base teórica para o projeto e a preparação dos materiais.
Biomedicina: medidores de espessura de membrana podem ser usados para medir a espessura de filmes críticos, como biofilmes e revestimentos de medicamentos, fornecendo informações importantes para o diagnóstico e tratamento de doenças.
Proteção ambiental: o medidor de espessura da membrana pode ser usado para monitorar a deposição de poluentes atmosféricos em superfícies sólidas, fornecendo uma base científica para a avaliação e o gerenciamento da poluição ambiental.
Utilização e manutenção
Requisitos de calibração: calibração de espessura de película padrão antes do uso inicial; Calibração regular (mensal / trimestral) para garantir a precisão;
Preparação da amostra: limpar a superfície da amostra antes da medição (remover o óleo e a poeira); A medição por contato deve evitar riscos na superfície da amostra;
Requisitos ambientais: medições de alta precisão devem ser realizadas em um ambiente de temperatura constante (20 ± 2 ° C), sem vibração; O medidor de espessura da película laser deve evitar interferências luminosas fortes;
Manutenção diária: mantenha a sonda / cabeça laser limpa; Evitar colisões de instrumentos (especialmente sondas de contato); Troque regularmente peças de desgaste (por exemplo, sondas, sensores).