Lançamento da estrada de gás de alta pureza do laboratório de Tianjin

Lançamento da estrada de gás de alta pureza do laboratório de Tianjin

A disposição do sistema de tubulação de gás de alta pureza é diferente da tubulação de gás comum. Em geral, os tubos não devem ser longos demais e não devem ter cantos mortos, como "tubos cegos" que não são fáceis de soprar. O supervisor ou a extremidade do supervisor deve fornecer a abertura de emissão e a abertura de amostragem necessárias. Em alguns usuários de uso não contínuo, deixe que uma pequena quantidade de gás seja eliminada continuamente na extremidade do tubo para que o gás no tubo flua normalmente e evite a aparição de "zonas mortas". De acordo com os requisitos de qualidade do gás de processo, um dispositivo de purificação terminal deve ser configurado, se necessário. Em geral, válvulas de controle, filtros, dispositivos de redução de pressão, medidores de pressão, medidores de fluxo, instrumentos de análise on-line, etc. Os tubos de gás de alta pureza para a oficina limpa estão concentrados nas câmaras de população de gás para facilitar a gestão e o controle unificados.

Tubos de gás de alta pureza e materiais acessórios de tubulação: Tubos de transporte de gás de alta pureza devem ser usados ​​de acordo com os diferentes requisitos do processo para a pureza do gás, o conteúdo permitido de impurezas, o conteúdo de partículas, etc. Por exemplo, a indústria de semicondutores não só exige ambientes de produção limpos, mas também exige requisitos específicos e rigorosos para uma variedade de gases de alta pureza necessários durante o processo de produção devido ao seu processo de produção complexo e processamento fino. Desde a tecnologia de micrônicos até a tecnologia de submicrônicos e submicrônicos profundos (menos de 0,35 um), os requisitos para o teor de impurezas e teor de umidade no gás são muito rigorosos e 10-6 (grau de ppm) não podem atender aos requisitos. É necessário atingir 10-9 (grau ppb) ou até 10-12 (grau ppt), o tamanho da partícula de poeira deve ser controlado em 0,05-0,01 μm. Portanto, as propriedades dos materiais dos tubos de transporte devem atender aos requisitos de gás de alta pureza e ultra-alta pureza.

As principais características dos materiais de tubulação que afetam a qualidade do gás são a permeabilidade, a taxa de saída, a adsorção, a rugosidade da superfície, a resistência ao desgaste e a corrosão.

Requisitos de instalação de tubos do sistema de abastecimento de gás

A instalação do tubo deve atender aos requisitos de projeto, quando o projeto não tem requisitos, o tubo de gás seco deve ser instalado horizontalmente; Os tubos de transporte de umidade devem ser instalados com uma inclinação não inferior a 0,003, e a inclinação deve ser orientada para o coletor de condensado.

Os tubos usam conexões de solda, arco de argão de tungstênio soldado fundo, cobertura de solda de arco manual. Soldadura ou pontuação de tubos de aço inoxidável deve tomar medidas de proteção de argônio

Tubos de gás e equipamentos, válvulas e outros acessórios devem ser ligados através de flanges ou roscas. O preenchimento das juntas roscadas deve ser uma película de politetrafluoroetileno

Quando o tubo de gás atravessa a sala limpa, a parte exposta da guarnição da flange ou do preenchimento roscado deve ser limpa.

O tubo de gás deve ser instalado de forma centralizada quando o tubo de aço sem costura é usado para a remoção da ferrugem ou a lavagem ácida, a instalação deve ser combinada em 48 horas, proteção de nitrogênio, pressão de enchimento não inferior a 0,2 MPa

Para tubulações de gás com requisitos de terra, um saltador condutor deve ser soldado entre as flanges. A seção do condutor e o comprimento da ligação de solda devem atender aos requisitos de projeto. Os pontos de solda devem ser fiáveis.

Lançamento da estrada de gás de alta pureza do laboratório de Tianjin