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Xangai Haoquang Optoelectric Equipment Co., Ltd.
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213nm profundo ultravioleta monomodulo laser

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Visão geral

Laser monomodulo ultravioleta profundo de 213nm, adequado para aplicações como metrologia óptica, calibração de sistemas ópticos de 213nm ou controle de largura de banda de laser paramolecular ArF de alta potência.

Detalhes do produto

213nm profundo ultravioleta monomodulo laser

A empresa alemã Xiton PhotonicsLaser sólido de bomba de diodoeÓptica não linearEspecialistas em equipamentos. Pode desenvolver e fabricar sistemas de laser confiáveis ​​para quase qualquer comprimento de onda necessário, com mais de 20 anos de experiência em pesquisa e desenvolvimento de laser, com foco no desenvolvimento de ultravioleta profundo eLaser ultravioletainstrumento.

O IXION SLM 213 é umModelo longitudinalSistema de laser de estado sólido completo paraÓpticoQuantidade, calibração de sistema óptico de 213 nm ou ArF de alta potênciaLaser quasi molecularAplicações como controle de largura de banda. A largura de banda espectral está perto do seu limite teórico de Fourier.O laser em m2 < 1,6DifraçãoOs pulsos de saída curtos são fornecidos em feixes limitados com uma duração de 6-8ns, com frequências de repetição entre 1 e 15 kHz. A potência média de saída de até 100mw a 213nm, com uma trajetória de pulso ultra-estável e uma altura superior a 1,5 mRelacionadocomprimento, que não é possível com lasers tradicionais.



213nm profundo ultravioleta monomodulo laserParâmetros:

comprimento de onda / wavelength

213 nm

Potência média / Medium Power

100mW

Duração do pulso/largura do pulso

tipo 6-8 ns

Energia por pulso

10µJ

Frequência de repetição / Repetition rate

1 a 15 kHz

qualidade do feixe/ Qualidade da mancha

M² < 1,6

Bandwidth/largura espectral

< 100 MHz

Características do produto do laser monomodulo ultravioleta profundo:

Largura de banda espectral


Qualidade da mancha



Aplicações de produtos de laser monomodulo ultravioleta profundo:

  • EspectrómetroCalibração

  • Momento de Luz

  • IntervençãoMedição

  • Detecção de Wafer

  • Medição holográfica

  • Luminosidade